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PRODUCT DETAIL

全自動ウェハ外観検査装置

ベアウェハの外観検査の決定版!

カセットtoカセットのウェハ表裏外観検査装置で、ロードカセットからウェハを取り出しアライメント後、FRONTステーションで表面検査をして、BACKステーションに反転取付し、ベルヌイホルダで裏面検査行い欠陥判定分類収納します。

用途:ベアウェハ

用途例

ベアウェハ

「ウェハエッジ自動検査装置」
ウェハエッジ外観検査の決定版!

ウェハカセットをセットして、運転ボタンを押すだけでウェハ1枚ずつロボットが取り出し検査ステーションに運び、画像調芯後、ウェハ外周の端面と上下面の3面を同時に撮影してキズ・クラック・異物等の欠陥検査をして、カセットに戻します。

サファイア、
SiC、
GaNベアウェハ

「透明ウェハ外観検査装置」

サファイア,SiC、GaNなど透明ウェハの自動外観検査装置で、微分顕微鏡と好感度ラインカメラ撮像で検査して、データとマッピングを行います。欠陥画像のマクロ表示とズームやカラーレビューを自動切換などデータ比較や解析機能にも最適です。

高機能性フィルム

「異物外観検査装置」
異物外観検査の決定版!

ラインレーザーとラインカメラでスキャン検査をしてパーティクル・異物のを検出してリストとマップ表示します。

液晶パネル、
有機パネル用
ガラス基板、
フィルム

「パネル基板/フィルム外観検査装置」
パネル/フィルム外観検査の決定版!

各種パネル基板、フィルム、半導体部品のミクロからマクロまでの件さユニットを搭載して、外観検査への対応と複合機能で件さとレビューや加工、調整などの件さユニットを目的に合わせて構築できます。

よくあるご質問

Q
サンプルテスト対応は出来ますか?
A
サンプルテスト対応をしておりますので、出来れば限界欠陥見本サンプルをご用意頂ければと存じます。
Q
サンプルテストを行うに当たって、どの様な情報が必要ですか?
A
サンウルテスト検討するに必要な事項:
①現状の件さ方法
②検査対象物の大きさ
③対象物の色
④対象物の部位(表、裏、側面等)
⑤最小欠陥の検出大きさ
⑥検出精度
⑦検査タクト
⑧装置設置スペース制限

企業・団体情報

企業名
アローズエンジニアリング株式会社
所在地
〒264-0025
千葉県 千葉市若葉区都賀 1丁目4番2号
設立年月
1986年12月
従業員規模
11名-50名
URL
http://www.arrows.co.jp