PRODUCTS DETAIL
ボールSAWセンサを使った微量水分計 ＦＴ－７００ＷＴ / ＦＴ－3００ＷＴ
気体中の水分濃度を1ppｂ（10億分の１）レベルまで短時間で正確に測定可能
ボールSAWは1999年に東北大学山中名誉教授が球の表面に球の直径と波長の幾何平均の幅で表面波を励振すると回折現象の起きない自然な平行ビームとして表面波が多重周回する物理現象として発見しました。多重周回したSAWは音速の変化や減衰率の変化を周回数と共に拡大させ、より精密にその変化を測定できます。この多重周回する伝搬経路上に感応膜を設置することで、小型、高速、高感度なボールSAWセンサが開発されました。
ボールウェーブ社は、革新的なケミカルセンシング技術「ボールSAWセンサ」により多様なガス・気体を高速・高感度にセンシングすることで、エネルギーインフラ管理や製造業における精緻な品質管理、危険ガスの事前察知等を実現する、東北大学発のベンチャー企業です。
ケミカルセンシングには、高感度化や応答速度向上に加え、多様な用途に応えるための高温・高圧耐性、高耐食性が求められています。ボールSAWセンサは、微小な水晶球の表面に、計測対象に応じて異なる感応膜を形成することで、微量水分や水素、天然ガス、有機混合ガスなど、多様なガス・気体計測を可能とします。水晶球が持つ高温・高圧耐性に加え、従来技術と比較して約100倍の高感度と高速応答性を備えることで、これまで実現しなかった様々な用途での活用が可能です。
製品・技術の特長
FEATURE 01
高速センシング
ボールSAWセンサーの表面１０nm程度の極薄い膜が水分子を捉えること、またセンサーセルの空間容積が1ml程度であることから、
応答速度が極めて早く水分量の変化を秒単位でモニター可能です。
FEATURE 02
水分量とバックグランドガス組成分析の2項目測定が可能
ボールSAWセンサーの出力を、水分量を示す出力値とバックグラウンドガスの平均分子量を示す出力値に分離することができます。
したがって、バックグラウンドガスごとに再校正する必要がなく、また天然ガスなどの成分に変動がある場合にそれも同時に検知可能です。
FEATURE 03
コンパクトで持ち運びができる ＦＴ－３００ＷＴも販売
1秒で露点−７０℃（1PPMレベル）までリアルタイムで測定可能です。
コンパクトで持ち運ぶことができます。
用途例
- 製造プロセスの水分濃度管理
-
半導体や二次電池の製造プロセスでは水分が混入すると歩留まりが悪くなり、
また品質が不安定になることがあり、水分濃度管理が非常に重要となってきます。
弊社の微量水分計は既存の製品と比較すると反応速度が10倍以上速く、
リアルタイムでモニタリングできるようになります。
そのため製品の歩留まり向上、品質安定に貢献する事ができます。
主な用途
・産業ガス分野での出荷検査
・半導体製造装置（前工程）での工程品質チェック
・リチウムイオンバッテリーや全個体電池でのパッケージ内品質保証
よくあるご質問
- Q
- キャリブレーション（校正）は必要ですか？
- A
- はい、年1回のキャリブレーションを推奨しています。
- Q
- 使用上の注意点はございますか？
- A
- センサヘッドは丈夫に作られていますが、絶対結露させないで下さい。
- Q
- データは記録する事ができますか？また、できるとしたらどれくらいの期間記録する事ができますか？
- A
- はい、データは記録する事ができます。1日当たりの費用容量は５MBですので１GBのメモリであれば6か月以上のデータが保存可能です。
チーム
- 代表取締役社長
-
赤尾 慎吾
1997年東邦大学理学部物理学科卒業、1999年筑波大学大学院理工学研究科修了。同年10月凸版印刷株式会社入社総合研究所配属。2003年より凸版印刷総合研究所でボールSAW関連の研究開発に従事。2009年東北大学大学院工学研究科材料システム工学専攻博士課程後期終了。同年より東北大学未来科学共同研究センター客員准教授。2014年に凸版印刷を退職、文部科学省STARTプロジェクト「ボールSAW微量水分計の開発」に東北大学未来科学共同研究センター特任准教授として参画。2015年11月ボールウェーブ株式会社設立、代表取締役就任。
- 取締役研究・開発部長
-
山中 一司
1977年東京大学大学院物理工学専攻修士課程修了、1978年通商産業省工業技術院機械技術研究所入所、1987年東北大学論文博士、1994年極限技術部量子技術研究室長、1997年東北大学大学院工学研究科教授、2015年同未来科学技術共同研究センター教授、2016年9月同退職。超音波による材料評価・非破壊検査の研究および弾性表面波センサの研究に従事。1999年NEDOプロジェクトにて軸受球の非破壊検査の研究中に球の弾性表面波の自然なコリメートビームを発見、科学技術振興調整費研究にてボールSAW水素センサ、CRSETにて携帯型ガスクロを研究開発。1997年応用物理学会論文賞、2008年文部科学大臣表彰、山崎貞一賞受賞。東北大学名誉教授。
- 取締役製造・技術部長
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竹田 宣生
2014年-2016年：株式会社メムス・コア技師長としてMEMSセンサ受託開発に従事。2016年-2014年：東北大学大学院工学研究科非常勤講師、2012年-2014年：東北大学大学院工学研究科産学連携研究員、2010年-2012年：東北大学未来科学技術共同研究センター客員教授、2000年-2010年：米国ベンチャーBall Semiconductor社上席副社長として一貫して微量水分センサをはじめとするBall SAW Sensorの開発に携わる。1997年Ball Semiconductor社入社。1986年-1997年：(財)半導体研究振興会研究員、1985年：東北大学大学院工学研究科修了、工学博士。(株)大日本科研技術顧問。
- 取締役事業開発部長
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塚原 祐輔
2007年-2016年：株式会社理研ジェネシス代表取締役社長、2001年-2007年：凸版印刷技術戦略推進部長、全社技術戦略・新規事業創出担当。2002年-2005年：米国のベンチャーE Ink社取締役、電子ペーパーの開発・事業化。1996年-2006年：凸版オックスフォード・ナノテクノロジー・センター長、199８年-2003年：オックスフォード大学Wolfsonカレッジフェロー。1991年-1992年：カナダ国立研究機構材料研究所サミット招聘研究員。1982年凸版印刷中央研究所入所。1990年：工学博士（東北大学）。1976年：早稲田大学理工学部物理学科業。1989年IEEE UFFC最優秀論文賞。株式会社理研ジェネシス顧問、早稲田大学先進理工学術院客員教授
スペック・仕様
- 測定範囲
- 露点−１１０～－２０℃
- 精度
- 0.2℃（>ｰ85℃）、0.5℃（ｰ85℃～ｰ95℃）、1℃（<ｰ95℃）
- 反応速度
- < 30sec to 90% of (380->680ppb)
- 動作環境温度
- 10~40℃
- サンプルガス種
- N2, O2, Ar, He, H2, CH4, C2H6, C3H8, Toxic gases
- ガス流量範囲
- 0～1 L/min
- ガス圧力範囲
- 0～300kPa（減圧側は要相談)
- ガス入口および排気接続
- 1/4ｲﾝﾁVCRｵｽ
- 寸法および重量
- 430x222x380mm、12Kg
企業・団体情報
- 企業名
- ボールウェーブ株式会社
- 所在地
-
〒980-8579
宮城県 仙台市青葉区荒巻青葉 6-6-40 東北大学連携ビジネスインキュベータ 501
- 設立年月
- 2015年11月
- 従業員規模
- 10名以下
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