アローズエンジニアリング株式会社

全自動ウェハ外観検査装置

ベアウェハの外観検査の決定版!

全自動ウェハ外観検査装置
全自動ウェハ外観検査装置
カセットtoカセットのウェハ表裏外観検査装置で、ロードカセットからウェハを取り出しアライメント後、FRONTステーションで表面検査をして、BACKステーションに反転取付し、ベルヌイホルダで裏面検査行い欠陥判定分類収納します。

用途:ベアウェハ

全自動ウェハ外観検査装置の詳細

用途例

ベアウェハ

「ウェハエッジ自動検査装置」

ウェハエッジ外観検査の決定版!

ウェハカセットをセットして、運転ボタンを押すだけでウェハ1枚ずつロボットが取り出し検査ステーションに運び、画像調芯後、ウェハ外周の端面と上下面の3面を同時に撮影してキズ・クラック・異物等の欠陥検査をして、カセットに戻します。

ベアウェハ
サファイア、SiC、GaNベアウェハ

「透明ウェハ外観検査装置」

サファイア,SiC、GaNなど透明ウェハの自動外観検査装置で、微分顕微鏡と好感度ラインカメラ撮像で検査して、データとマッピングを行います。欠陥画像のマクロ表示とズームやカラーレビューを自動切換などデータ比較や解析機能にも最適です。

サファイア、SiC、GaNベアウェハ
高機能性フィルム

「異物外観検査装置」

異物外観検査の決定版!

ラインレーザーとラインカメラでスキャン検査をしてパーティクル・異物のを検出してリストとマップ表示します。

高機能性フィルム
液晶パネル、有機パネル用ガラス基板、フィルム

「パネル基板/フィルム外観検査装置」

パネル/フィルム外観検査の決定版!

各種パネル基板、フィルム、半導体部品のミクロからマクロまでの件さユニットを搭載して、外観検査への対応と複合機能で件さとレビューや加工、調整などの件さユニットを目的に合わせて構築できます。

液晶パネル、有機パネル用ガラス基板、フィルム

よくあるご質問

サンプルテスト対応は出来ますか?
サンプルテスト対応をしておりますので、出来れば限界欠陥見本サンプルをご用意頂ければと存じます。
サンプルテストを行うに当たって、どの様な情報が必要ですか?
サンウルテスト検討するに必要な事項:
①現状の件さ方法
②検査対象物の大きさ
③対象物の色
④対象物の部位(表、裏、側面等)
⑤最小欠陥の検出大きさ
⑥検出精度
⑦検査タクト
⑧装置設置スペース制限

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全自動ウェハ外観検査装置に関する資料

全自動ウェハ外観検査装置に関する資料

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ウエハに限らずフィルム、基板の外観検査装置を多数紹介

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お客様のニーズを的確に捉え 最適なサービスの提供を目指します!

アローズエンジニアリング株式会社は、1986年設立以来半導体業界に携わりお客様ノニーズを的確に捉え、半導体業界には無くてはならない企業であり続けたいという思いと共に、社員すべての人達が日々価値ある最高の製品・技術・サービスを提供する事で躍進して参ります。

出展団体情報

出展団体名アローズエンジニアリング株式会社
所在地264-0025 千葉県 千葉市若葉区都賀 1丁目4番2号
設立年月1986年11月
従業員規模11名-50名
URLhttp://www.arrows.co.jp

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