特長

光干渉法の膜厚値違いによる反射率の変化

反射率スペクトルは、同種材質の膜であっても、膜厚値の違いにより図のような異なる波形になります。膜厚が薄い場合、図左側のようなスペクトルを示し、より厚くなると図中央から右側のようなスペクトルへと変化します。これは光干渉現象によるものです。
顕微分光膜厚計 OPTM seriesでは高精度で高い波長分解能を持つ分光計測が可能で、正確に絶対反射率スペクトルを求めることができます。これにより材質の持っている光学定数（n:屈折率、k:消衰係数）の解析も可能になります。

反射対物レンズが実現する透明基板の高精度測定

フィルムやガラス等の透明な基板サンプルの場合、基板の裏側からの反射の影響を受けると正確な測定ができません。OPTM seriesの反射対物レンズを使用すると、物理的に裏面反射を除去することができ、透明基板でも高精度に測定ができます。
また、フィルムやSiC等の光学異方性をもつサンプルに対しても、その影響を受けることなく上面の膜のみの測定を行うことが可能です。（特許取得済　第5172203号）

面内25ポイント測定を1分以内で完了

高速オートフォーカスの実現により、例えば、ウェーハの面内25点を1分以内で膜厚測定が可能です。

仕様表

用途例

 

ハードコートの膜厚測定	近年、様々な機能を持つ高機能フィルムを用いた製品が一般に普及しており、用途によってはフィルム表面に耐摩擦、耐衝撃、耐熱、耐薬品などの性能を持つ保護フィルムが必要になることもあります。保護フィルム層としてハードコート(HC)膜を製膜することが一般的ですが、HC膜の厚みによって保護フィルムとして機能しなかったり、フィルムにそりが生まれたり、見た目のムラや歪みの原因になるため、HC層の膜厚値を管理する必要があります。
複数点同一解析を用いた nk 未知の極薄膜の測定	最小二乗法でフィッティングをして膜厚値（ｄ）を解析するには材料のnkが必要です。nkが未知の場合、d とnkの両方を可変パラメータとして解析します。　しかしながら、ｄ が100nm以下の極薄膜の場合、ｄ とnkとを分離することができず、そのため精度が低下して正確な ｄ が求められないことがあります。　 このような場合、ｄ の異なるサンプルを複数測定し、nkが同一であると仮定して同時解析（複数点同一解析）をします。これにより精度よくnkを求め、正確な ｄ を求めることが可能です。