エッチング（洗浄）装置

特長

バッチ式エッチング装置

• 全自動および手動タイプの製作が可能です。
• 酸、アルカリエッチング(洗浄）や、RCA洗浄にも対応します。
• 搬送機のタイプも様々な仕様から選定できます。
  （前面、背面上部、上部、背面など）
• 揺動機構に対応します。
• ウェハー回転機構に対応します。
• 酸・アルカリ系と有機溶剤の混在仕様も対応可能です。
• 角基板、小片ウェハ等、特殊な形状のワークもカセット設計から対応可能です。

詳しくは、資料をダウンロード頂いてご覧ください。

★バッチ式エッチング装置は弊社テストセンターにてテストが可能です。

スピンエッチング装置

• チャンバーの数、ブラシ有無等、カスタム対応が可能です。
• スピン洗浄装置の製作が可能です。
• 2液混合ノズルにより直接、2種類の原液を使用した洗浄処理を実現します。
• 混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能です。
• フォトマスク洗浄装置の製作が可能です。

詳しくは、資料をダウンロード頂いてご覧ください。

★スピンエッチング装置は弊社テストセンターにてテストが可能です。

用途例

カスタマイズ例	槽投入上下ユニット 高温の薬液に作業者がカセットを出し入れするのは非常に危険との事で、カセットを引っ掛けてシリンダーで上下する機構をご提案しました。

よくあるご質問

Q. ウエハーを用いたテストは可能でしょうか？

可能です。ダルトンは、東京都墨田区にテストセンターを有しております。

剥離、洗浄、乾燥工程において使用可能な様々な装置をテスト機としてラインアップしており、装置に応じて酸・アルカリ・有機溶媒での処理が可能です。