[半導体工場向ガス検知警報装置用] コスモス式ガス検知部　PS-7

センサユニットを交換することでさまざまなガスを検知可能

センサユニットを交換することでさまざまなガスを検知可能

半導体製造現場で使用される各種ガスを検知する定置式のガス検知部。
センサユニットを交換することで、さまざまなガスを検知可能。

発売から約20年、半導体工場をはじめ各種研究設備、製造装置に多数採用頂くロングセラー商品です。

製品についての質問やご相談についてはこちらからどうぞ

「コスモス式ガス検知部　PS-7」について弊社担当者より回答させていただきます。お気軽にお問い合わせください。

特長

センサユニットを交換することで、さまざまなガスを検知可能。

センサユニットは校正済みでお届けするので、現場でのガス校正が不要です。また、センサユニットの交換は工具不要で簡単。ランニングコストを大幅に削減できます。

さらに、ポンプユニットもカートリッジ式のため、交換が容易。自社製の流量センサを搭載しいるため、安定的かつ長寿命。

半導体製造プロセスで使用される三フッ化窒素（NF3）の検知が可能。

PS-7-MモデルはModbus(RS-485/Ethernet)に対応（※Ethernet通信はPoEに対応）

可燃性ガス、毒性ガス、酸素など、半導体製造工程で使用するさまざまなガスの定点監視に最適。

また、脱臭や消臭、殺菌で使用されるCL2、O3をはじめ、効果測定や品質管理の現場で多数採用されています。

製品についての質問やご相談についてはこちらからどうぞ

「コスモス式ガス検知部　PS-7」について弊社担当者より回答させていただきます。お気軽にお問い合わせください。