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高純度鉄（電解鉄）
精密研磨｜ナノレベルの精度を実現
新たな可能性を切り拓く、NEOSの精密研磨
精密研磨は、製品や部品の表面にさまざまな特性をもたらし、製品の性能や寿命の向上に貢献しています。
NEOSは、わずかな傷や腐食も確実に処理する精密研磨で、さまざまな産業における最先端のモノづくりを支えています。
ナノ単位での研磨加工を実現する「精密研磨」
研磨の中でも、「ナノ単位での研磨加工」といわれる精密研磨は、高い精度が求められる細やかな加工作業となります。加工したい製品やその精度に応じた機械や研磨方法の選択など、高いレベルでの技術が必要となります。
また、ナノレベルの高い精度を実現するためには、測定環境や専用の工具・機器の使用など、あらゆる知識とそれを実現するための条件を整える必要があり、その実現には高度な技術力が必要となります。
産業現場における精密研磨の重要性
精密研磨は、半導体、電子部品、自動車、食品、医療など、さまざまな業界において、重要な役割を果たしています。
精密研磨は、それぞれの製品に応じて、最適な表面の平滑性を実現することで、製品への機能付与や性能向上にも貢献する重要な役割を果たしています。
したがって、精密研磨は、製品の性能を最大限に引き出すための重要な工程であり、その技術の進化は、製品の進化とともに培ってきたものです。
プラスワン工程 ｜ NEOSの不動態化処理
「不動態化」とは、金属表面に酸化皮膜が形成された状態をいい、この酸化皮膜には、腐食（錆び）から素材を保護し、製品の耐食性を向上させる作用があります。
NEOSの不動態化処理
ステンレスの脱脂洗浄、酸洗浄後、さらに金属表面の不純物を除去すると同時に、金属表面上に化学的に安定した酸化皮膜を形成させます。
NEOSでは、形状を問わず最適な方法で施工します。ステンレス鋼の多くの場合、不動態化皮膜は、Cr2O3であり、数10Å程度の極めて薄い保護皮膜です。
機械研磨・電解研磨・化学複合研磨など、研磨手法は問わず、どの研磨工法でも、表面を平滑化させ、安定的な酸化皮膜を形成することが可能です。
質の高いNEOS処理品
不動態化皮膜は、クロムが濃化し、鉄が減少することで、より安定的で保護性の高い膜となります。NEOS処理品は、SEMI規格を満たした不動態化皮膜を持つことが確認されています。
表層Cr/Feは、比率が高いほど、表面はクロム酸化皮膜で覆われ、耐食性や清浄性が向上しますが、ネオス処理品は、よりクロムが豊富で鉄が少なく、質の高い皮膜をご提供しています。
SEMI規格とは
SEMI規格は、半導体デバイスメーカーや製造機器メーカーなどの国際的な業界団体であるSEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）が定めた規格です。
その規格の、ステンレス鋼部品の接液面の表面状態に関する規格であるSEMIF19では、不動態化皮膜の質を評価するために、XPSやAESといった表面分析法を用いて、表面の元素組成や膜厚を測定し、Cr/Fe比やCrOx/FeOx比などの指標を算出しており、SEMI規格に準拠した不動態化皮膜は、高い耐食性やクリーン性を有すると認められます。
不動態化処理によるメリット
不動態化処理によるメリットは下記2点あげられます。
①耐食性の向上
不動態化皮膜は金属の腐食を防ぎ、金属の寿命や品質を向上させることができます。
②金属イオン溶出の低減
不動態化処理は、金属イオンの溶出を低減します。これは、溶出による汚染や腐食のリスクを低減します。これにより金属コンタミの汚染を低減します。
事例紹介
金属イオン溶出低減
課題背景 |
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提案内容 |
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導入後の効果 |
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ステンレス部材耐食性向上（不動態化処理）
課題背景 |
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提案内容 |
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液送ロータリーポンプからの金属コンタミネーション混入予防保全
課題背景 |
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提案内容 |
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導入後の効果 |
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充填ノズルの液ダレ改善リユース
課題背景 |
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提案内容 |
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導入後の効果 |
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医療機器部品（人工臓器、人工関節など）への精密研磨
課題背景 |
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提案内容 |
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導入後の効果 |
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NEOSの強み
豊富な実績と蓄積されたノウハウ・技術
NEOSは、長年の研究をもとに開発、進化させた独自の研磨技術で、あらゆる形状や材質の部品に対応し、表面のわずかな傷や腐食も確実に処理する高い技術力を有しています。
実績 | |
|---|---|
材質 | ステンレス・アルミ・ハステロイ、インコネル、樹脂、他 |
業界 | 半導体 / 液晶 / 電子部品 / 医療 / 食品 / 自動車 / 家具ほか |
特に、次世代の半導体・液晶などの製造装置ガス供給システムにおいて、超高純度ガスの純度を下げずにユースポイントに送るための精密研磨は、NEOSの最大の特徴です。この技術は、超清浄な表面状態を実現することに貢献しており、最終工程はclass100のクリーンルーム環境で精密洗浄まで実施します。
これら豊富な実績と経験をもとに、さまざまな研磨工法とノウハウを駆使し、材質や用途に合わせた最適な研磨方法をご提案いたします。
微細管の内面研磨
研磨・洗浄・評価におけるトータルソリューション力
NEOSは、ナノ単位の異物も除去する究極のテクノロジーで、最先端のモノづくりを化学の力で支えてきました。
目には見えないナノレベルのゴミや汚れを許さない半導体業界で培われた精密洗浄と、あらゆる形状に対応し、表面処理のお困り事を解決する精密研磨です。
また、高い品質を保証するための、確かな検査体制を有しており、迅速かつ精密な分析が可能です。また、それらをベースにした根拠をもったトータルな提案力で、モノづくり現場におけるお客様の課題解決に貢献いたします。
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