ガス混合装置 BMFシリーズ

特長

高精度のガス混合

マスフローコントローラー(MFC)により制御されたガスは、混合精度±0.5%以下の高精度で混合されます。
また、ガス混合ガス比率はタッチパネル操作により設定できます。混合ガスの流量レンジは、50L/minから1600L/minまで幅広く対応します。

高純度ガスに対応した内部機器

内部のガス配管、バッファータンク等にステンレス材を標準採用し、高純度ガスの供給を可能にしました。
また、用途に応じて内部配管の溶接にも対応します。

低差圧なフローにより幅広い用途に対応

混合装置を通過する際の圧力損失が少ないため、圧力条件の制約を受けずに導入することを可能にしました。
そのため、既設配管の圧力条件を変更したり、混合ガスを昇圧したりすることなく本製品を導入することができます。

外部機器との連動(オプション)

混合精度異常・圧力異常等を検知し、外部信号の出力やバルブ等の機器との連動を可能にします。
また、外部機器からの信号入力によりガス混合比率を変化させることもできます。

用途例

ワイヤーボンディング用フォーミングガスの混合	H2ガス(3%)とN2ガスを混合精度±0.5%以内の高精度で混合します。 また、混合ガスは付属の濃度計ユニット(オプション)にて常時監視され、H2濃度が規定値を超えた場合には、外部警報を発報します。 本製品の導入により、お客様の設備に合わせた、混合ガスの使用量を選択できます。 また、クリーンルーム内に設置することで、オンサイトでの運用が可能です。