外部エネルギー不要で使用できる把持・滑り止めパッド

IonPadは表面を滑らかに仕上げた粘着タイプと、微細な凹凸を形成した非粘着タイプの2種類があります。
主にガラスやフィルム等のピックアップには粘着タイプが用いられ、横滑り防止には非粘着タイプが用いられます。
対象物の材質や用途、使用環境等により最適なIonPadの設計をご提案いたします。

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ミクロンレベルのパーティクル対策に最適な静電吸着式「パーティクルコレクター」

パーティクルコレクターとは、半導体製造の現場で活躍する「静電チャック」の技術を応用した、パーティクルを捕捉・集塵するツールです。
弊社では一般環境からクリーンルーム、真空環境までさまざまなユースケースに対応できるパーティクルコレクターをご用意しております。
空間のクリーン化、製品への異物混入防止などさまざまな用途でご使用いただくことができます。

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バキューム吸着が難しいワークの搬送に「静電吸着」という新提案！

半導体製造の現場で活躍する「静電チャック」をFA機器に応用したワーク搬送ツールです。
半導体基板の大型化などを見据え、大型サイズにも対応できる静電チャックの開発を進めています。
バキューム吸着が難しいワークの吸着搬送は、静電チャックにお任せください。

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