株式会社渡辺商行
常圧CVD装置「A200V」「AMAX800V」「AMAX1200」 カタログ
天谷製作所製 枚葉式常圧CVD装置 / 連続式常圧CVD装置
層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等に使用されるシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした常圧CVD装置となります。
φ200mm以下ウェーハ対応の枚葉式装置「A200V」、φ200mm以下ウェーハ対応の連続式装置「AMAX800V」、φ300mmウェーハ対応の連続式装置「AMAX1200」とラインナップがございます。
※株式会社天谷製作所は株式会社渡辺商行のグループ企業です。
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