武蔵野ファインガラス株式会社は、1988年の創立以来ガラスの加工を生業として参りました。
 2002年より業容拡大を目指して、フッ酸によるガラスの加工を開始し、タッチパネルの薄型化、OLED用封止ガラス等アプリケーションを広げて参りました。
現在ではスマートフォン市場の成⻑と自動車のIT化の流れを受け、これまで培ってきたエッチング技術を活かしたガラスのケミカルカット、超薄型化スリミング加工、アンチグレア処理で最先端分野での御客様の開発のお手伝いをさせて頂いております。

ガラス加工技術集

武蔵野ファインガラス株式会社

半導体ウエハー研磨用サポート基板の加工を承ります。
3種類の基板ラインナップがあります。
・ホウケイ酸ガラス
・無アクリルガラス
・石英ガラス

当社では様々なガラス材質や、1枚からの加工も対応し、お客様に満足してもらえる製品を提供しております。

半導体ウエハー研磨用サポート基板

当社は、1988年の創立以来ガラスの加工を生業として参りました。2002年より業容拡大を目指して、フッ酸によるガラスの加工を開始し、タッチパネルの薄型化、OLED用封止ガラス等アプリケーションを広げて参りました。

現在ではスマートフォン市場の成長と自動車のIT化の流れを受け、これまで培ってきたエッチング技術を活かしたガラスのケミカルカット、超薄型化スリミング加工、アンチグレア処理で最先端分野での御客様の開発のお手伝いをさせて頂いております。

「お困りの事が有れば、是非一度、お問い合わせください。」

微細穴開け加工・貫通孔加工（TGV加工）、ガラスエッチング（精密フォトリソ加工）、スリミング加工、各種機械加工など、様々なガラス加工が可能。また、これらの加工を組み合わせることもできます。

一般的な機械加工では実現が難しいガラス加工でも、ぜひ一度ご相談ください。

<h3 class="" style="text-align: left; text-align: left; text-align: left; ">このような方におすすめ</h3><h4 class="" style="text-align: left; text-align: left; text-align: left; ">電子部品で使用するガラスの精密加工でお困りの方</h4><ul><li><p>使いたいガラスに、必要な厚みのラインナップが無い</p></li><li><p>UTGを任意のサイズにカットしたい</p></li><li><p>UTGに穴あけ加工や堀込加工がしたい</p></li></ul><p></p><h2 class="" style="text-align: left; ">ガラススリミング加工とは</h2><p>ガラススリミング加工とは、ケミカル液でガラスを溶解し、薄く・軽く加工する技術です。これまで液晶パネルなどに用いられてきました。近年は配線基板にも利用されるようになり、薄型ガラスのニーズは高まっています。<br><br>エッチング技術で培った独自ノウハウにより、電子部品への利用に耐えうる品質のスリミングが可能です。また、スリミングした薄型ガラスに、フォトレジストやレーザー改質を利用し、パターン加工・貫通加工・切断加工をするなど、他の当社ガラス加工技術と組み合わせて、加工することもできます。</p><p></p><h2>エッチング技術を用いたガラススリミング加工の特徴</h2><p>一般的に、ガラスを所定寸法に加工する際には機械加工を施します。しかし、機械で研磨することによりガラスにミクロなひび割れ（マイクロクラック）が発生し、ガラスの強度を落としてしまいます。<br><br>弊社はこのミクロなひび割れ（マイクロクラック）の問題をケミカル加工により解決。ガラスの適用範囲を広げ、様々な課題を解決してまいりました。</p><h4 class="" style="text-align: left; text-align: left; "><strong>エッチングによる加工（ケミカル加工）</strong></h4><table style="minWidth: 50px"><colgroup><col><col></colgroup><tbody><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>メリット</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>ミクロなひび割れの発生が抑えられるため、高い強度を保ったまま薄型化が可能</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>デメリット</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>加工前のガラスの表面粗さ（Ra）をさらに改善することは難しい</p></td></tr></tbody></table><h4 class="" style="text-align: left; text-align: left; "><strong>機械加工</strong></h4><table style="minWidth: 50px"><colgroup><col><col></colgroup><tbody><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>メリット</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>加工前のガラスの表面粗さ（Ra）を改善でき、仕上がったガラスに精度が求められるケースに向いている</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>デメリット</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>ミクロなひび割れが発生し、ガラスの強度が下がる</p></td></tr></tbody></table><p>弊社では、エッチングによる加工と機械加工のどちらも対応可能です。お客様のご要望をお伺いし、最適な加工方法をご提案いたします。</p><p></p><h2>ガラススリミング加工の種類</h2><h3>パネルのスリミング加工</h3><p style="text-align: start">UV封止硬化樹脂にて外周部をシーリングして加工致しますので、浸み込みがありません。</p><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/2d9bf20dc5de42a9bca354e0d2286f00/mfg_slimming_01.png" width="1536" height="734"></p><table style="minWidth: 50px"><colgroup><col><col></colgroup><tbody><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>タッチパネルの片側<br>250μmスリミング</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>400×530×1.1t／0.4t　⇒　400×530×1.1t／0.15t</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>LCDパネルの両側<br>350μスリミング</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>420×530×0.5t／0.5t　⇒　420×530×0.15t／0.15t</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>OLEDパネルの両面<br>400μmスリミング</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>370×470×0.4t／0.4t　⇒　370×470×0.1t／0.1t</p></td></tr></tbody></table><p></p><h3>ガラス単板の超薄型スリミング加工</h3><p style="text-align: start">超薄型のカバーガラス用途として、板厚50μmへのスリミングに対応致します。<br>Foldable Phone用CG　370×470×50μm　※30μm 試作実績有</p><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/fe394ffd1c2849e2ab16b9c7f0b55efa/mfg_slimming_02.png" width="1536" height="1014"></p><table style="minWidth: 50px"><colgroup><col><col></colgroup><tbody><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>対応可能ガラス</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>アルカリガラス<br>無アルカリガラス<br>耐熱ガラス<br>石英ガラス<br>光学ガラス<br>※これら以外のガラス品種であっても、対応検討致しますので、ご相談ください</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>対応可能サイズ</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>MAX 370×470</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>対応可能厚み</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>370×470　/　100μm ～100×100　/　50μm<br>※加工可能なサイズは仕上がり板厚により変わります。対応表は一例ですので詳細はご相談ください。</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>用途・適用分野・応用分野</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>湾曲ディスプレイ<br>ガラスフィルム<br>有機EL照明<br>スペーサー</p></td></tr></tbody></table><p></p><h2>その他加工との組み合わせ例</h2><h3>超薄型ガラス（UTG）の微細貫通孔加工、矩形貫通孔加工、精密堀込み加工</h3><p style="text-align: start">超薄型ガラス（UTG）の加工前（後）に、レーザー改質＋エッチングを使った精密貫通加工や、フォトリソを使った精密な堀込み加工が可能です。</p><p style="text-align: start"><a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://evort.jp/store/mfg/library/hole/"><strong>【関連記事】ガラス微細穴開け加工・貫通孔加工（TGV加工）</strong></a></p><p style="text-align: start"><a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://evort.jp/store/mfg/library/photolithography/"><strong>【関連記事】ガラスエッチング（精密フォトリソ加工）</strong></a></p><p style="text-align: start"></p><h2>企業情報</h2><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/2b8072ab05e542659d00efd23a4b645e/mfg_slimming_03.png" width="1536" height="496"></p><h3>独自のエッチング技術でガラスの精密加工を実現</h3><p style="text-align: start">当社は、1988年の創立以来ガラスの加工を生業として参りました。2003年より業容拡大を目指して、フッ酸によるガラスの加工を開始し、タッチパネルの薄型化、OLED用封止ガラス等アプリケーションを広げて参りました。<br><br>現在ではICの3Dパッケージ化や高速通信に対応すべく、これまで培ってきたエッチング技術にレーザー加工も加え、ガラスの微細貫通孔加工（TGV加工）、精密堀込み加工、UTG（Ultra Thin Glass）加工で最先端分野での御客様の開発のお手伝いをさせて頂いております。<br><br>「ガラス加工でお困りの事が有れば、是非一度、お問い合わせください。」</p><table style="minWidth: 50px"><colgroup><col><col></colgroup><tbody><tr><th colspan="1" rowspan="1"><p><strong>出展団体名</strong></p></th><td colspan="1" rowspan="1"><p><a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://evort.jp/store/mfg">武蔵野ファインガラス株式会社</a></p></td></tr><tr><th colspan="1" rowspan="1"><p><strong>所在地</strong></p></th><td colspan="1" rowspan="1"><p>〒350-1155 埼玉県 川越市下赤坂 617番地3号</p></td></tr><tr><th colspan="1" rowspan="1"><p><strong>設立年月</strong></p></th><td colspan="1" rowspan="1"><p>1998年03月</p></td></tr></tbody></table>

超薄型ガラス（Ultra Thin Glass）は、半導体用配線基板の進化により、ニーズが高まっています。

当社ではエッチング技術を活かし、最大550mm×650mm、最小10mm×10mm、厚さも0.05㎜までの加工が可能です。ほとんどのガラス種類で超薄型ガラス（UTG）を加工できます。

ガラススリミング加工・超薄型ガラス加工（Ultra Thin Glass）

<h3 class="" style="text-align: left; text-align: left; ">このような方におすすめ</h3><h4 class="" style="text-align: left; text-align: left; ">■ 電子部品で使用するガラスの精密加工でお困りの方</h4><ul><li><p>ガラス基板に、微細な穴あけと堀込み加工を施したい</p></li><li><p>薄さ / 強度 を両立したガラス加工の方法を探している</p></li><li><p>機械加工で発生するガラスのミクロなひび割れに悩んでいる</p></li></ul><p></p><h4 class="" style="text-align: left; text-align: left; ">■物質材料の開発に関わる方</h4><p></p><h4 class="" style="text-align: left; text-align: left; ">■有機EL / 有機太陽電池、それらの製造工程の薬液の開発者の方</h4><ul><li><p>材料の機能テストに用いる最適な封止ガラスがほしい</p></li></ul><p></p><h4 class="" style="text-align: left; text-align: left; ">■装置の治具、顕微鏡の試料ガラスなどでもお使いいただいております。</h4><p></p><h2>ガラスフォトリソ加工とは</h2><p>「ガラスフォトリソ加工」はガラスエッチング加工技術の一つです。ガラス材料にフォトレジストで任意のパターンを形成し、彫り込むことで、ガラスに凹凸、貫通孔を加工することが可能です。<br><br>レジスト膜には有機膜と金属膜をお選びいただくことが可能です。どちらの膜にもメリット・デメリットがありますので、お客様のニーズに合わせ、ご相談させて頂きます。</p><p></p><h2>有機レジストの特徴</h2><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/8f5b09f5172740bc85dcc2ced092bb3f/mfg_photolithography_01.png" width="1536" height="1227"></p><p>フォトリソで使用する有機レジストは金属レジスト膜に比べて耐久性が高くコストが低い点がメリットです。金属レジスト膜を使用した場合に比べ厚みが出てしまうものの、トータルの製造コストを削減可能です。<br><br>また、有機レジストは、有機性のアルカリ溶液で剥離が可能なので、すでに彫り込まれている配線に与えるダメージはほとんどありません。すでに加工されたりメッキがかかっているガラスに彫り込みが可能になります。</p><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/7c0c6ff28509466bb222dbd2e02235d0/mfg_photolithography_02.png" width="1536" height="1816"></p><h2>金属レジストの特徴</h2><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/878ee0d76c444036a01299183a1de953/mfg_photolithography_03.png" width="1536" height="1146"></p><p>金属レジスト膜を作ってエッチングを行う場合、1ミクロン以下の薄さで実現が可能です。<br><br>一方で、金属レジスト膜を任意の形に成形するための手間がかかります。また、金属レジスト膜は長時間の使用に耐えないため、深い穴を彫りたいなど、加工時間が長い場合は利用しにくい欠点があります。<br><br>また、金属レジスト膜は、基板から剥離するために酸で溶かす必要があります。すでに配線が施されている基板の場合、配線なども一緒に溶けてしまうことがあります。</p><p></p><h2>メーカーと協力して開発した独自素材</h2><p>ガラスエッチングでレジストとして使える材料は、フッ酸や塩酸に耐性を保たなくてはいけません。1分あたり1〜6ミクロンという速度で彫り込むため、強酸の中に長期間さらされても浸食されにくい材料である必要があります。<br><br>弊社の有機レジストは、レジストメーカー殿と協力し独自開発したガラスエッチングに最適な素材を利用しています。<br><br>また、金属レジストには、耐酸性を上げるために独自の膜構成のものを使用しております。</p><p></p><h2>レーザー精密貫通加工との併用</h2><p>ICやセンサーのパッケージなど、ガラス基板内に堀込みと微細貫通孔を両立させたいご要望に最適です。<br><br>レーザー＋エッチング加工は微細貫通穴や矩形貫通に適した加工ですが、広い面積の堀込は困難です。そんな時はフォトレジストを使った堀込み加工と組み合わせることにより、安価で精密な部品を加工することができます。<br><br>社内で全ての加工が出来る為、レーザー後にフォトリソ加工を行い、1回のエッチングで貫通加工と堀込加工を行うことも可能です。</p><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/c5f6a8d1c75b4d43a36f5f719e6e47c0/mfg_photolithography_04.png" width="1536" height="1782"></p><p><a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://evort.jp/store/mfg/library/hole/"><strong>【関連記事】ガラス微細穴開け加工・貫通孔加工（TGV加工）</strong></a></p><p></p><h2>用途例</h2><p></p><table style="minWidth: 50px"><colgroup><col><col></colgroup><tbody><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>MEMS、LED用</strong><br><strong>キャップガラス</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>金属レジスト膜を用いたエッチング加工と比較し、価格や耐久面での優位性があります。</p><p style="text-align: start">レジストを剥がす際に有機アルカリ薬品を用いるため、配線済みのガラスにもダメージなく加工できます。</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>研究試作用材料の</strong><br><strong>機能テスト用 封止ガラス</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>有機EL / 有機太陽電池 の研究試作用材料の機能テストに用いる封止ガラス用途でもご相談をいただいています。</p><p style="text-align: start">サンドブラストなどの加工方法で掘った溝は曇りやすく、薬液の様子を観察しにくい課題がありました。一方、ガラスフォトリソ加工による溝は濁りが抑えられます。</p></td></tr></tbody></table><p></p><h2>よくある質問</h2><h6 class="question" style="text-align: left; text-align: left; text-align: null; text-align: null">Q：フォトリソ加工の解像度は？</h6><p><span style="color: rgb(59, 52, 74)">有機レジストは0.4㎜以上、金属レジストは0.01㎜以上です。</span><br><span style="color: rgb(59, 52, 74)">※有機レジストは堀込量により解像度が変わります。詳細はご相談ください。</span></p><p></p><h6 class="question" style="text-align: left; text-align: left; text-align: null; text-align: null">Q：<span style="color: rgb(59, 52, 74)">堀込可能な量は？</span></h6><p><span style="color: rgb(59, 52, 74)">標準として、石英基板30μm・耐熱ガラス250μm・その他1㎜です。</span><br><span style="color: rgb(59, 52, 74)">パターンサイズとの相関がありますので、詳細はご相談ください。</span></p><p></p><h6 class="question" style="text-align: left; text-align: left; text-align: null; text-align: null">Q：<span style="color: rgb(59, 52, 74)">基板内で2種類の深さを加工できる？</span></h6><p><span style="color: rgb(59, 52, 74)">可能です。</span></p><p></p><h6 class="question" style="text-align: left; text-align: left; text-align: null; text-align: null">Q：<span style="color: rgb(59, 52, 74)">金属配線済みの基板に堀込加工は可能？</span></h6><p><span style="color: rgb(59, 52, 74)">剥離剤との相性が取れれば可能です。</span></p><p></p><h2>企業情報</h2><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/2b8072ab05e542659d00efd23a4b645e/mfg_slimming_03.png" width="1536" height="496"></p><h3>独自のエッチング技術でガラスの精密加工を実現</h3><p>当社は、1988年の創立以来ガラスの加工を生業として参りました。2003年より業容拡大を目指して、フッ酸によるガラスの加工を開始し、タッチパネルの薄型化、OLED用封止ガラス等アプリケーションを広げて参りました。<br><br>現在ではICの3Dパッケージ化や高速通信に対応すべく、これまで培ってきたエッチング技術にレーザー加工も加え、ガラスの微細貫通孔加工（TGV加工）、精密堀込み加工、UTG（Ultra Thin Glass）加工で最先端分野での御客様の開発のお手伝いをさせて頂いております。<br><br>「ガラス加工でお困りの事が有れば、是非一度、お問い合わせください。」<br></p><table style="minWidth: 50px"><colgroup><col><col></colgroup><tbody><tr><th colspan="1" rowspan="1"><p><strong>出展団体名</strong></p></th><td colspan="1" rowspan="1"><p><a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://evort.jp/store/mfg">武蔵野ファインガラス株式会社</a></p></td></tr><tr><th colspan="1" rowspan="1"><p><strong>所在地</strong></p></th><td colspan="1" rowspan="1"><p>〒350-1155 埼玉県 川越市下赤坂 617番地3号</p></td></tr><tr><th colspan="1" rowspan="1"><p><strong>設立年月</strong></p></th><td colspan="1" rowspan="1"><p>1998年03月</p></td></tr></tbody></table>

フォトリソ加工とはフォトレジスト（有機、金属）を用いたガラスエッチング加工技術で、ガラス材料に任意のパターンを彫り込むことができます。

有機レジスト膜は深い堀込みに適しており、金属レジスト膜は精密なパターン加工に適しています。基板全面を一度にエッチング加工できる為、機械加工に比べ、価格的に優位です。

レジスト剥離剤も、配線済みのガラスに少ないダメージで剥離できるものもあります。

なお、堀込み面は加工前と同様に透明のままですので、センサーパッケージとしても使用可能です。

ガラスエッチング（精密フォトリソ加工）

<h3 class="" style="text-align: left; text-align: left; ">このような方におすすめ</h3><h4 class="" style="text-align: left; text-align: left; ">電子部品で使用するガラスの精密加工でお困りの方</h4><ul><li><p>ガラスへ微細かつ精密な孔あけを施したい</p></li><li><p>1枚のガラス基板へ堀込みと微細貫通孔を加工したい</p></li><li><p>機械加工で発生するマイクロクラックによる強度低下に悩んでいる</p></li></ul><p></p><h2>「レーザー+エッチング」によるガラス微細孔開け加工</h2><p>ガラスは機械加工（ドリル）やCO2レーザーでも加工できますが、加工面にミクロなひび割れ（マイクロクラック）が発生してしまい、電子部品業界では問題になる事があります。また、ガラスはウェットエッチング加工でxyz方向同じように溶けるという性質を持っているため、細長い孔をあけることが困難です。<br><br>そこで、レーザーパワーをガラスの改質に使用し、その後ウェットエッチングを行い微細加工をする加工を開始いたしました。<br><br>超短パルスレーザーの照射により、物性の異なる領域をガラス内に形成し、希望の形状にエッチングできるようにする方法です。この方法により、従来難しかった縦長、細長な微細孔あけ加工や垂直に近い断面の孔あけ加工を実現しました。<br><br>当社はレーザーによる改質とエッチングを一気通貫で実施可能です。</p><p></p><h2>エッチング技術を用いたガラス微細孔開け加工のメリット</h2><ul><li><p>ミクロなひび割れの発生が抑えられ、高い強度を保てる</p></li><li><p>微細孔あけ加工や垂直断面貫通加工が可能</p></li><li><p>レーザーを補助加工とし、その後エッチングで加工する事により、加工速度がアップ</p></li><li><p>孔の内側の面がなめらかな仕上がりになる</p></li></ul><p></p><h2>微細孔開け 加工実績例</h2><p></p><table style="minWidth: 50px"><colgroup><col><col></colgroup><tbody><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p style="text-align: center"><strong>アスペクト比約5<br>基板t0.4mm<br>孔径φ80μm</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/008c3a1855834cf3adb4325e5cf50ef9/mfg_hole_ex01.webp" width="967" height="614"></p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p style="text-align: center"><strong>アスペクト比約7.5<br>基板t0.6mm<br>孔径φ80μm</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/1659bc86c4544c8a9a0f4d47e3e774ff/mfg_hole_ex02.webp" width="907" height="605"></p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p style="text-align: center"><strong>アスペクト比約2.8<br>基板t0.5mm<br>孔径φ180μm</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/6b0340ad23724f6887e5bd59c0f6165b/mfg_hole_ex03.webp" width="912" height="582"></p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>アスペクト比約2.8<br>基板t0.8mm<br>孔径φ280μm</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/57659576d3a64faab90cab2215d52250/mfg_hole_ex04.webp" width="880" height="582"></p></td></tr></tbody></table><p></p><h2>標準デザイン</h2><p></p><table style="minWidth: 50px"><colgroup><col><col></colgroup><tbody><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>加工可能基板サイズ</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>100x100mm 〜 370x470mm</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>加工可能基板形状</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>四角、丸</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>基板厚み</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>t0.1〜1.2mm<br>※1.1mm以上はご相談ください。<br>（実績例：t6.0㎜矩形貫通孔）</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>貫通孔Top部直径</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>φ21μm〜<br>基板厚み、孔径、基板種により変わります。</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="3"><p><strong>貫通孔断面形状</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>ストレート型</p><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/965e99979d244158984260dd2b55998a/mfg_hole_02.webp" width="1200" height="840"></p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p>砂時計型</p><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/94c182cdf7eb4f31b16a158e107dc250/mfg_hole_03.webp" width="1200" height="840"></p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p>テーパー型</p><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/036c9c222b5042a0867acef83431907d/mfg_hole_04.webp" width="1200" height="840"></p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>貫通孔形状</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>円形・多角形・異形</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>アスペクト比</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>厚み÷Top直径≦9</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>孔ピッチ</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>ピッチ径≧Top径x1.5</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>基板種</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>アルカリガラス<br>無アルカリガラス<br>耐熱ガラス<br>石英ガラス<br>光学ガラス<br>※これら以外のガラス品種であっても、対応検討致しますので、ご相談ください</p><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/e7716c1ee8b74210ace4d3e0d691d736/mfg_hole_img05.webp" width="1200" height="551"></p></td></tr></tbody></table><p></p><h2>その他加工との組み合わせ例</h2><h3 class="" style="text-align: start; text-align: start; text-align: start"><strong>1-1. レーザー＋エッチングによる貫通加工とフォトリソによる堀込み</strong></h3><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/8e1f352152534396af2cf3ad09308317/mfg_hole_01.png" width="1536" height="568"></p><p style="text-align: start">四角い部分がレーザー＋エッチングによりくり貫かれている部分、両サイドにある部分がフォトリソで掘りこんだ部分です。<br><br>フォトリソでは垂直貫通孔が難しく、レーザーでは堀込みに大変手間がかかりますが、レーザー＋エッチングによる貫通加工とフォトリソによる堀込みを採用することで、両者の欠点を補いました。</p><h3 class="" style="text-align: start; text-align: start; text-align: start"><strong>1-2. レーザー＋エッチングによる貫通加工とフォトリソによる堀込み</strong></h3><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/a8a4ae9e19b34ef9b329cf64637e1081/mfg_hole_02.png" width="1536" height="568"></p><p>φ0.1㎜貫通孔＋堀込加工の事例です。</p><h3 class="" style="text-align: start; text-align: start; text-align: start"><strong>2. レーザー貫通加工とフォトリソとエッチングによるキャビティー加工</strong></h3><p style="text-align: start">レーザー貫通加工で垂直に開いた貫通孔の端部に、フォトリソとウェットエッチングでザグリ加工をすることが可能です。</p><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/423bce1cf3604087bc236a64f0583c5e/mfg_hole_03.png" width="1536" height="638"></p><p><a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://evort.jp/store/mfg/library/photolithography/"><strong>【関連記事】ガラスエッチング（精密フォトリソ加工）</strong></a></p><p></p><h2>用途例</h2><table style="minWidth: 50px"><colgroup><col><col></colgroup><tbody><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>インターポーザのTGV（ガラス貫通電極）</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>インターポーザ（サブストレート）とは、貫通電極によって表裏の回路の導通をとるために用いられる基板のことです。また、ガラスのインターポーザに形成した貫通電極をTGV（Through Glass Via＝ガラス貫通電極）といいます。</p><p>これらは3次元のウェーハレベルパッケージ（WLP＝Wafer Level Package）の高集積化技術として活用されています。</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>センサ</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>加速度センサ、圧力センサなどの空気の通り道となる孔を作ることができます。</p></td></tr></tbody></table><p></p><h2>よくある質問</h2><h6 class="question" style="text-align: left; text-align: left; text-align: null; text-align: null">Q：<span style="color: rgb(59, 52, 74)">どれくらい小さい孔を開けられますか？</span></h6><p><span style="color: rgb(59, 52, 74)">基板の厚みとの関係になります。現状では、アスペクト比（基板厚み÷貫通孔径）で9程度までは可能です。詳細はご相談ください。</span></p><p></p><h6 class="question" style="text-align: left; text-align: left; text-align: null; text-align: null">Q：<span style="color: rgb(59, 52, 74)">どの様なガラスに加工可能ですか？</span></h6><p><span style="color: rgb(59, 52, 74)">各種ガラス（無アルカリガラス、耐熱ガラス、石英ガラス、光学ガラス、ソーダガラス）への加工が可能です。</span></p><p></p><h6 class="question" style="text-align: left; text-align: left; text-align: null; text-align: null">Q：<span style="color: rgb(59, 52, 74)">加工できるガラスの最大サイズは？</span></h6><p><span style="color: rgb(59, 52, 74)">370×470㎜です。（400×500㎜は要相談）</span></p><p></p><h6 class="question" style="text-align: left; text-align: left; text-align: null; text-align: null">Q：<span style="color: rgb(59, 52, 74)">ガラスから準備できますか？</span></h6><p><span style="color: rgb(59, 52, 74)">できます。ガラス種類、厚みなど、お気軽にご相談ください。</span></p><p></p><h2>企業情報</h2><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/2b8072ab05e542659d00efd23a4b645e/mfg_slimming_03.png" width="1536" height="496"></p><h3>独自のエッチング技術でガラスの精密加工を実現</h3><p>当社は、1988年の創立以来ガラスの加工を生業として参りました。2003年より業容拡大を目指して、フッ酸によるガラスの加工を開始し、タッチパネルの薄型化、OLED用封止ガラス等アプリケーションを広げて参りました。<br><br>現在ではICの3Dパッケージ化や高速通信に対応すべく、これまで培ってきたエッチング技術にレーザー加工も加え、ガラスの微細貫通孔加工（TGV加工）、精密堀込み加工、UTG（Ultra Thin Glass）加工で最先端分野での御客様の開発のお手伝いをさせて頂いております。<br><br>「ガラス加工でお困りの事が有れば、是非一度、お問い合わせください。」</p><table style="minWidth: 50px"><colgroup><col><col></colgroup><tbody><tr><th colspan="1" rowspan="1"><p><strong>出展団体名</strong></p></th><td colspan="1" rowspan="1"><p><a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://evort.jp/store/mfg">武蔵野ファインガラス株式会社</a></p></td></tr><tr><th colspan="1" rowspan="1"><p><strong>所在地</strong></p></th><td colspan="1" rowspan="1"><p>〒350-1155 埼玉県 川越市下赤坂 617番地3号</p></td></tr><tr><th colspan="1" rowspan="1"><p><strong>設立年月</strong></p></th><td colspan="1" rowspan="1"><p>1998年03月</p></td></tr></tbody></table>

ICの3Dパッケージ化や通信速度の高速化により、コア基板としてのガラスの需要は高まっており、同時に微細貫通孔や矩形貫通孔の加工ニーズも高まっています。

従来は加工が困難な形状でも、レーザー＋エッチング技術により、精密微細貫通孔加工を実現しました。

ガラス微細穴開け加工・貫通孔加工（TGV加工）

<h3 class="" style="text-align: left; text-align: left; ">このような方におすすめ</h3><h4 class="" style="text-align: left; text-align: left; ">メーカー・大学の研究者の方</h4><ul><li><p>欲しいサイズ、厚みの試験用ガラス板が無い</p></li><li><p>希望するガラス種類の試験用ガラス板が無い</p></li><li><p>まずは少量から試したい</p></li><li><p>レーザー貫通や堀り込み加工と組み合わせて試験を検討している</p></li></ul><p></p><h2>ガラス基板 加工販売</h2><p>お客様の開発や製品加工に必要なガラス基板の加工・販売を行っております。<br><br>ガラスは国内で入手できるほとんどのガラスを扱っており、これらを弊社ガラス加工技術により、以下の加工が可能です。<br><br><strong>①厚さ調整（スリミング、機械研磨）</strong><br><br><strong>②カット（スクライブ、レーザーカット）</strong><br>　※円形、矩形、異形(矩形加工は薄板の対応も可）<br><br><strong>③面取り（C面、R面）</strong><br><br><strong>④ガラス強化（エッチング強化、ケミカル強化）</strong><br><br><strong>⑤精密洗浄</strong></p><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/4ecc0ffa0d7949cc885f68b55c16c2d6/mfg_test-glass_01.png" width="1536" height="698"></p><p><a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://evort.jp/store/mfg/library/slimming/">【関連記事】<strong>ガラススリミング加工・超薄型ガラス加工（Ultra Thin Glass）</strong></a></p><h3 class="" style="text-align: start; text-align: start; text-align: start"><strong>対応加工寸法・加工精度</strong></h3><table style="minWidth: 50px"><colgroup><col><col></colgroup><tbody><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>加工寸法</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>min.　10×10㎜　～　max.1500×1300㎜</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>外形加工精度</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>±0.2㎜（スクライブ）、±0.05㎜（レーザー）</p></td></tr><tr><td colspan="1" rowspan="1"><p><strong>加工板厚</strong></p></td><td colspan="1" rowspan="1"><p>0.05㎜　～　2.8㎜</p></td></tr></tbody></table><p></p><h2>その他加工もオーダー可能</h2><p>また、以下の加工を追加で実施することも可能です。ご要望がございましたら、お気軽にご相談ください。</p><p><strong>■ レーザー改質による貫通孔加工</strong></p><p><a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://evort.jp/store/mfg/library/hole/"><strong>【関連記事】ガラス微細穴開け加工・貫通孔加工（TGV加工）</strong></a></p><p><strong>■ 掘り込み加工・パターニング加工</strong></p><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/bcd0950074134b1ba290aaebf4c5eb93/mfg_test-glass_02.png" width="1536" height="864"></p><p><a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://evort.jp/store/mfg/library/photolithography/"><strong>【関連記事】ガラスエッチング（精密フォトリソ加工）</strong></a></p><p></p><p><strong>■ NC加工</strong><br><br><strong>■ AG処理</strong></p><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/5ff372ccb9404e3f98361b72c3738c9a/mfg_test-glass_03.png" width="1536" height="508"></p><p><strong>■ 粗面加工</strong><br><br><strong>■ 研磨加工による平面精度UP加工</strong><br><br><strong>■ ガラスへの電極成膜（真空成膜、メッキ）加工、絶縁膜加工</strong><br><br><strong>■ 外形加工</strong></p><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/4071d6da272343799a590ebd95c1f596/mfg_test-glass_04.png" width="1536" height="740"></p><h2>よくある質問</h2><h6 class="question" style="text-align: left; text-align: left; text-align: null; text-align: null">Q：<span style="color: rgb(59, 52, 74)">どのようなガラスの加工が可能ですか？</span></h6><p><span style="color: rgb(59, 52, 74)">ソーダガラス、無アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、光学ガラス、ケミカル強化用ガラス、石英ガラスなどが可能です。</span></p><p></p><h2>企業情報</h2><p><img src="https://images.microcms-assets.io/assets/ebcc3def84f746fe9dc69f5f38ae49f9/2b8072ab05e542659d00efd23a4b645e/mfg_slimming_03.png" width="1536" height="496"></p><h3>独自のエッチング技術でガラスの精密加工を実現</h3><p>当社は、1988年の創立以来ガラスの加工を生業として参りました。2003年より業容拡大を目指して、フッ酸によるガラスの加工を開始し、タッチパネルの薄型化、OLED用封止ガラス等アプリケーションを広げて参りました。<br><br>現在ではICの3Dパッケージ化や高速通信に対応すべく、これまで培ってきたエッチング技術にレーザー加工も加え、ガラスの微細貫通孔加工（TGV加工）、精密堀込み加工、UTG（Ultra Thin Glass）加工で最先端分野での御客様の開発のお手伝いをさせて頂いております。<br><br>「ガラス加工でお困りの事が有れば、是非一度、お問い合わせください。」</p><table style="minWidth: 50px"><colgroup><col><col></colgroup><tbody><tr><th colspan="1" rowspan="1"><p><strong>出展団体名</strong></p></th><td colspan="1" rowspan="1"><p><a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://evort.jp/store/mfg">武蔵野ファインガラス株式会社</a></p></td></tr><tr><th colspan="1" rowspan="1"><p><strong>所在地</strong></p></th><td colspan="1" rowspan="1"><p>〒350-1155 埼玉県 川越市下赤坂 617番地3号</p></td></tr><tr><th colspan="1" rowspan="1"><p><strong>設立年月</strong></p></th><td colspan="1" rowspan="1"><p>1998年03月</p></td></tr></tbody></table>

各種デバイス、ケミカル材料の開発及び品質評価用のガラス板の加工販売を承ります。

切断・面取り、クリーンルーム直結の洗浄機での仕上げ洗浄を行えますので、材料評価用・試験用に最適です。

成膜加工、パターニング加工、電極成膜（真空成膜、メッキ）加工、絶縁膜加工も対応可能です。

ガラスの精密加工

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出展団体情報

出展団体名	武蔵野ファインガラス株式会社
所在地	〒350-1155埼玉県川越市下赤坂617番地3号
設立年月	1998年03月
従業員規模	11名-50名
URL	http://www.mfg.jp