静電容量式非接触変位センサ 資料

比類なき高精度、高安定性変位センサ

Micro-Epsilonは1968年ドイツ創業の老舗センサメーカーです。弊社静電容量センサは数十ミリメートルの範囲をミクロンレベルで高精度、高安定に測定するセンサです。その高い性能とサポート力で日本・ドイツを中心に多くの光学、半導体関連の開発現場から製造現場まで幅広く採用されています。

使用用途
振動やたわみ
熱膨張
寸法公差、検査
変形
厚み測定
ギャップ測定

対象物は導電体、絶縁体問わず計測可能です。