特長

センサユニットは交換が簡単でランニングコストを大幅に削減

センサユニットを交換することで、さまざまなガスを検知可能。

センサユニットは校正済みでお届けするので、現場でのガス校正が不要です。また、センサユニットの交換は工具不要で簡単。ランニングコストを大幅に削減できます。

さらに、ポンプユニットもカートリッジ式のため、交換が容易。自社製の流量センサを搭載しいるため、安定的かつ長寿命。

エッチングガスで幅広く使用されるNF3に対応

半導体製造プロセスで使用される三フッ化窒素（NF3）の検知が可能。

PoEに対応

PS-7-MモデルはModbus(RS-485/Ethernet)に対応（※Ethernet通信はPoEに対応）

用途例

半導体製造工場のガス漏えいの定点監視に

可燃性ガス、毒性ガス、酸素など、半導体製造工程で使用するさまざまなガスの定点監視に最適。

また、脱臭や消臭、殺菌で使用されるCL2、O3をはじめ、効果測定や品質管理の現場で多数採用されています。