株式会社大阪真空機器製作所
TGkine®-Rシリーズ
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
TGkine®-Rシリーズの特徴
■コンパクト設計 ■省電力設計 ■高流量設計
■多彩な通信仕様（EtherCATも対応可能）
■自社開発により、安定した軸受を実現
■低速回転モード設定可能
■国際規格適合：CE / NRTL / SEMI-S2
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