磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkine®シリーズ

TGkine®シリーズには、コントローラ・電源一体型のTGkine®-Bシリーズとコントローラ・電源分離型のTGkine®-Rシリーズの2種類があります。

TGkine®-Bシリーズは、ポンプ本体とコントローラ・電源ユニットが一体型になった磁気軸受形ターボ分子ポンプです。 出力ケーブルやコントローララックが不要になり、装置の省スペース化が可能となります。 TG-Mシリーズの特長を踏襲し、ロータ設計の最適化により排気性能をさらに向上しました。
https://www.osakavacuum.co.jp/products/#TGK_Series

TGkine®-Rシリーズは、TGkine®-Bシリーズと同性能のコントローラ分離型の磁気軸受形ターボ分子ポンプです。当ポンプは稼働データ、タッチダウン回数、機種情報等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。
https://osakavacuum.co.jp/products/#TGKR_Series

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