水銀プローバCVmapシリーズ
雄山株式会社
再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システム
アメリカFour Dimensions社の製品です。Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定できます。
ユーザが最大200箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-k、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。
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水銀プローバCVmapシリーズ 詳細
特長
水銀自体が電極の役割となり、パターン形成が不要
CVmapは、水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。水銀が電極の代わりになるため、コストや時間を要する電極形成が不要です。
独自のコンタクト方式は、非常に優れた再現性、安全性を実現します。SiC、GaN、Si-Epiなど、様々なタイプのウエハに対応。迅速にマッピング測定が行えます。
用途例
| 操作性に優れたセミオート機 |
Windowsベースの操作系とモータードライブされた制御系、測定部を内蔵したコンパクトな一体型のセミオート機です。 ユーザが最大200箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-ｋ、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。  |
|---|---|
| 自動搬送対応のフルオート機 |
C to C (Cassette to Cassette)自動搬送に対応したモデルです。 2点からのプローブ方式を用いたC-V、I-V測定器です。ウェハは6、8、12インチのサイズに対応し,ウェハ全面を任意サイトで測定することができます｡等高線・3Dマップも作成できます。  |
| 手動操作に特化したマニュアル機 |
内部測定機能と自動マッピングソフトウェアを取り除いた、手動操作に特化したモデルです。 試料台の移動や水銀プローブのコンタクト操作は前面パネルのボタンで行います。試料台はモーターで動作する電動式で、ウェハサイズは1~8インチに対応しています。外部計測器と組み合わせてCV測定、IV測定ができます(測定には外部計測器が別途必要です）。オプションとして計測・解析用のソフトウェアを取り揃えています。  |
雄山株式会社
40年以上の培った経験や実績により、豊富な種類のプローバを取り揃えており、特注品にも対応しております。
雄山株式会社計測機器部は、半導体、有機ＥＬ、液晶、太陽電池、燃料電池の研究開発や生産に必要な検査・解析・評価用装置の製造販売及び輸入販売を行っています。特に、特殊環境下での測定が必要な研究開発部門にて使用される装置開発を得意として最先端分野への納入実績も数多く有しています。
又、現在は、従来のプロービング技術を基軸にそれがインテグレートされた応用技術分野への挑戦も行っており、将来は半導体を核とした応用技術も含め全ての分野での検査・解析・評価のサポートが出来る体制作りを目指しています。
出展団体情報
| 出展団体名 | 雄山株式会社 |
|---|---|
| 所在地 | 〒650-0047兵庫県神戸市中央区港島南町1丁目4番地6 |
| 設立年月 | 1965年07月 |
| 従業員規模 | 51名-100名 |
| URL | https://www.oyama-web.com/guide4/ |