圧力校正用デジタル圧力計｜測定確度を12か月保証し、長期安定性に優れた基準器

圧力校正用デジタル圧力計

社内の校正室や校正事業者では、製造ラインや開発で使う圧力計・圧力センサを、より確度の高い基準器と1台ずつ比べて校正します。

デジタル圧力計 MT300は、こうした校正で被校正器と比べる基準器として使えます。MT300を基準器にして、依頼された測定器を校正している校正事業者もあります。

圧力校正の基準器における課題

基準器の測定値の経時変化

基準器は、校正を受けてから次の校正までの間、被校正器を校正するための基準として使い続けます。圧力計によっては、同じ圧力に対する測定値が日ごとに少しずつ変わっていき、例えば1年後に、その変化分を調整して使う必要があります。

測定値が変わっていく基準器では、校正を受けた直後と調整する直前とで、同じ圧力に対する測定値が違ってきます。その間に校正した被校正器は、時期によって違う基準で校正されたことになります。社内で継続して使う基準器では、この経時変化が大きな問題です。

デジタル圧力計 MT300による解決策

12か月の確度保証と長期安定性

MT300の測定確度は0.01%※で、確度保証期間は12か月です。この確度の保証は、長年にわたり蓄積した測定データに基づいています。

社内の評価データでは、2000日経過後も測定値の変動が極めて小さく抑えられています。

※23℃±3℃、ゼロCAL後。当社の作業用計測器に対する相対値です。確度の値と適用条件は、モデル・レンジ・測定モードにより異なります。

長期安定性を支えるシリコンレゾナントセンサ

MT300には、当社独自開発のシリコンレゾナントセンサを使っています。ダイアフラムに圧力が加わると振動子にひずみが生じて共振周波数が変わり、その変化から圧力を求めるセンサです。振動子を真空状態に置くことで、高い感度と分解能、優れた長期安定性が得られます。

シリコンレゾナントセンサの高い性能と長期にわたる安定性の評価結果から、当社の圧力センサとMTシリーズは、圧力標準の国際比較用仲介器（トランスファースタンダード：標準どうしを比べる際の仲介に用いる標準器）に採用されています。

モデル・測定流体・表示分解能

モデル	ゲージ圧・絶対圧・差圧の3モデル
レンジ	低圧から高圧まで13レンジ
測定流体	全モデルとも気体および液体（非可燃性、非爆発性、非毒性、非腐食性の流体）
表示分解能	/R1オプションで表示桁数を1桁追加（対応するレンジのみ）

表示桁数を増やすと、より細かく圧力を読み取れます。校正環境を構築する場合は、校正環境全体の不確かさを下げることにもつながります。

活用例：発生圧の確認と大気圧の測定（重錘形圧力天びん）

国家計量標準機関や、高い校正能力が求められる校正事業者では、重錘形圧力天びんを圧力標準とする校正も行われています。

MT300は、天びんが被校正器に加える圧力（発生圧）を高確度に測定し、校正に使う圧力が正しく発生しているかを確認するために使います。

また、天びんが発生した圧力の値は大気圧の変化の影響を受けるため、環境測定として大気圧も測る必要があります。この測定には、MT300の絶対圧モデルを使います。高確度な大気圧の測定は、大気圧の変動の影響を除いた校正結果を得るのに役立ちます。

MT300活用による期待効果

MT300の確度保証期間は12か月です。年に1回校正する運用では、前述の確度保証の条件のもとで、次の校正まで保証された確度の範囲内で基準器として使えます。

長期にわたる測定値の安定性により、校正の時期が違っても、安定した基準で被校正器を校正できます。測定値の変化分を調整しながら基準器を使う手間も、抑えられます。