特長

キズ、ゴミ、へこみ、くぼみなど、物理的な欠陥を検出

ミクロンレベルの欠陥を検出。通常の欠陥検出はどのような欠陥があるかを検査機器にレシピとして登録させておくことが必要ですが、Prestigeでは、独自のアルゴリズムにより事前にレシピに記憶させていない欠陥においても、欠陥として検出することが可能。レシピの作成を容易にします。

金属エッチング工程で発生するシミやムラの検出

光学の技術を応用し、シミ、ムラを検査することが可能。今までは、物理的なキズ、ゴミ、へこみ、くぼみなどの検査装置とは別にシミやムラを検査する装置を使用する形ではありましたが、このPrestigeでは、両方の検査を一度の検査工程で行うことを可能にします。また、シミやムラの度合を判定しデータとして抽出することを可能にします。

微細金属加工における表面状態観察

金属微細加工における表面上の粗さを検査することが可能です。RGBの光源を工夫することにより、表面加工がどのような結果になっているか、検証するターゲット箇所を設定し比較することが可能。従来では、個別に顕微鏡を使用し、個別に抜取り検査にて確認を行っていた作業を、キズやへこみ、くぼみを検査する工程で撮像したデータを応用することで、検査工程を削減します。

欠陥部材自動除去装置（Prestige、オプション機能）

欠陥検査装置で検出した欠陥部材を自動で除去する装置。Prestigeにて検出した欠陥部材の位置情報を欠陥部材自動除去装置に自動で配信することにより、欠陥部材を自動で、削除致します。

用途例

微細金属加工製品	半導体における微細欠陥検出技術を活かし、ミクロンレベルでのキズ、ゴミ、へこみ、くぼみ等の検出に活用することが可能。 ボイスコイルモーター（VCM）などの板バネ 半導体製品に使用されるリードフレーム、微細化エッチング関連製品全般 等
その他、金属微細加工関連製品	金属エッチング関連製品では、さまざまな形状の製品に対応する必要があるため、標準で用意している検査装置では対応が難しく、Prestigeでは、個別に使用される製品にカスタマイズして出荷することができるため、様々な金属微細加工製品に使用することが可能。 （例）エッチング加工品、表面加工品 等
金属加工製品 欠陥品除去	基板、金属シートに複数配置されている金属エッチング製品を外観検査したのち、欠陥品を手動で除去していた作業を欠陥部材自動除去装置を使用し、煩わしかった手作業における除去を自動化し除去におけるスループットを向上させ、かつ、人的ミスによる良品の除去、不良品の未除去を防止。 リードフレーム欠陥品除去 ボイスコイルモーター（VCM）などの板バネの欠陥品の除去 その他、あらゆる金属加工製品の基板、金属シートからの欠陥品の除去