特長

大気・真空を問わず使用可能

すべての構成材質にアウトガス対策を施した材料を使用しているため、大気環境はもちろんのこと、真空環境でも豊富な使用実績があります。

外部エネルギーは一切不要

外部エネルギーを使用する吸着ツールは配線などの取り回しが問題となる場合もありますが、外部エネルギーが不要なIonPadは狭い空間での使用にも適しています。

高純度樹脂パッドを採用

対象物保持のために粘着テープを用いると、剥がした際の残留物質がしばしば問題になります。 IonPadは粘着物質ではありませんので、対象物側への物質残留が問題になりにくい設計です。

定期的なクリーニングで繰り返し使用可能

粘着テープと異なり、IonPadは繰り返し使用できることが大きな特徴です。 意外と嵩む粘着テープのランニングコスト削減に是非ご検討ください。

用途例

ガラスの貼り合わせ等に適した粘着タイプ	ガラスやフィルム、シリコンウェハといった鏡面の対象物を垂直や天井側に保持するために用いられる粘着タイプです。 パッド厚み1mmと0.1mmをご用意しています。
ウェハの高速移動等に適した滑り止めタイプ	対象物の水平高速搬送時に位置精度を補う滑り止めタイプです。 既存のハンド部分にも設置できるため、大掛かりな設計変更は必要ありません。
ウェットな対象物の吸着用途にも！？	水や油が付着した保持が難しい対象物を吸着する用途開発も進めています。 生産ラインでの実績はありませんが、試作ライン等で動き出しています。