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基板外観検査装置 BBMaster-1100V 資料

倉敷紡績株式会社

基板外観検査装置 BBMaster-1100V 資料

次世代高分解能タイプ

従来方式では困難であった指向性のあるキズ・汚れ、パターン上の打痕などの欠陥検出を実現しました。