株式会社渡辺商行

常圧CVD装置「A200V」「AMAX800V」「AMAX1200」 カタログ

天谷製作所製　枚葉式常圧CVD装置 / 連続式常圧CVD装置

層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等に使用されるシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした常圧CVD装置となります。

φ200mm以下ウェーハ対応の枚葉式装置「A200V」、φ200mm以下ウェーハ対応の連続式装置「AMAX800V」、φ300mmウェーハ対応の連続式装置「AMAX1200」とラインナップがございます。

※株式会社天谷製作所は株式会社渡辺商行のグループ企業です。