特長

PLL発振器、トランジスタ増幅方式のマイクロ波電源で、 発振周波数、発振波形、出力電力の安定性に優れています。

・マグネトロン方式のマイクロ波電源と同等サイズを実現。
・電源ユニットとアンプユニットで構成。
・発振周波数の可変ができます。
・パルス発振、位相制御のオプション対応も可能です。
・標準はタッチパネルおよびRS-232Cによるシリアル制御で使用いただけますが、アナログ電圧制御もオプション対応します。

PLL発振器、トランジスタ増幅方式のマイクロ波電源で、 発振周波数、発振波形、出力電力の安定性に優れています。

・マグネトロン方式のマイクロ波電源と同等サイズを実現。
・電源ユニットとアンプユニットで構成。
・発振周波数の可変ができます。
・パルス発振、位相制御のオプション対応も可能です。
・標準はタッチパネルおよびRS-232Cによるシリアル制御で使用いただけますが、アナログ電圧制御もオプション対応します。

インピーダンス整合を自動的に処理するための整合器

・従来モデルよりも小型化を実現。
・導波管のE面(長辺)に3個の可動短絡器を置いた3要素チューナ型。
　スタブ棒形に比べて耐電力が高く、整合応答時間も短く、整合範囲もVSWR10までと広く、全位相整合が可能です。
・電力検出器からの進行波検波電圧Pfと反射波検波電圧Prをそれぞれモニタ信号として出力。
・制御部は本体に内蔵。PCやCONTROLLERを接続し各種制御設定やモニタが可能。
・5kWまで自然空冷

用途例

半導体製造装置用としての例	マイクロ波プラズマの発生源、マイクロ波の加熱源として使用されます。成膜、エッチング、アニール、アッシング、イオン注入など多様な製造装置へ使用されています。 下画像は、3kWソリッドステート型マイクロ波電源の電源ユニット、アンプユニットになります。
半導体製造装置用としての例	2450MHz帯マイクロ波のプラズマ放電等に使用するマイクロ波伝送路では、負荷変動により負荷インピーダンスが不整合になると反射波が発生し、マイクロ波電力の効率が低下してしまいます。 下記3E TUNERは、負荷インピーダンスが不整合になった際に自動的にインピーダンス整合を処理するための自動整合器です。 成膜、エッチング、アニール、アッシング、イオン注入など多様な製造装置へ使用されています。
その他の使用例	高出力のマイクロ波電源および自動整合器により安定なマイクロ波を供給し高安定な高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成できます。 ご要望に応じてカスタマイズ可能。オプションにて機能の追加等も対応。 試験成膜、受託成膜についてご相談承ります。