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コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ
TGkine®-Bシリーズの特徴■コントローラ/電源をポンプに一体化■省スペース 省電力設計 大排気速度設計/高流量設計■多様な通信仕様 (EtherCATも対応可能)■自社開発により、安定した軸受を実現■低速回転モード設定可能■国際規格適合:CE/NRTL/SEMI-S2
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TGkine®-Bシリーズ
目次
磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkine®シリーズ