真空薄膜加工技術のご紹介

成膜のメカニズムや加工事例をご紹介

真空蒸着薄膜加工技術のパイオニア、株式会社トーカイの真空薄膜加工技術を紹介いたします。

3つの成膜方法について、そのメカニズムや特徴を詳しくご紹介。
・真空蒸着法
・スパッタリング法
・フォトリソ（パターン成膜）

各種 加工事例もご覧いただけます。