東京計装株式会社
「FC6000」資料
変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現
流量範囲：最小2.5～25mL/min
最大1～10L/min
流体温度：5～50℃
流体圧力：0.3MPa max.
精度 ：指示値の±1％
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