東京計装株式会社
「UCL/SFC011C」資料
半導体製造装置などの流量計測に
測定対象：液体全般
流量範囲：最小0～3L/min
最大0～80L/min
流体温度：10～60℃
流体圧力：0.5MPa max.
精度 ：±2％ R.D.
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