6-Dナノプレシジョン ALIO ヘキサポッド ステージ
±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース！360°回転も可能！Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
ALIO Industries社のパテントテクノロジー。パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。
従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大きなアドバンテージを持ち、精密加工・精密アライメント等のアプリケーションで全く新しいシステムデザインを可能にしております。
特長
長ストロークのパラレルキネマティック
技術的にはメーターストロークのXYが可能(スタンダードでも400㎜)。
Z: <205mm, Θx, θy:<40°, θz: 360°のストロークを誇るTrue nanoステージ。組み合わせで小型タイプから大型タイプまでラインナップ。
ユーザーフレンドリーなコントローラーメソッド
キネマティックな演算をコントローラーに埋め込んでいる為、ユーザーは座標制御でコントロールが可能。起動中に回転軸(TCP)をソフトウエアから任意の座標に設定可能、これにより動作を止めることなく、自由度の高い動作が可能。
様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。
ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。
用途例
| フェムト秒レーザー加工におけるアクティブテーパーアングルコントロール | ALIO社のハイブリッドヘキサポッドを採用することで、広い範囲でのテーパー角度の制御ができ、長いZ軸ストロークによって、焦点操作の柔軟性が得られ、厚みのある基盤の高アスペクト比の加工に最適である。 |
|---|