外観検査装置 Prestige
この外観検査装置、Prestigeでは、ありとあらゆるミクロンレベルの欠陥を検出することが可能です。通常、欠陥検出においては、欠陥の大きさ、形などを検査装置にレシピとして登録し、そのレシピに基づき検査する方式がとられますが、弊社の独自の検査アルゴリズムにより、検査工程中でも、欠陥と思われるものが存在した場合、レシピに登録していないような欠陥でも欠陥として検出することが可能です。
また、物理的に検出できる欠陥以外にも光学の技術を応用し、エッチング工程で発生しうるシミやムラなども併せて検出することが可能です。なお、検査対象製品の表面、裏面を同一の検査工程で検査することにも対応しております。さらにオプション装置を使用することにより欠陥部材の発生箇所をそのオプション装置と連携し自動で欠陥部材を取り除く欠陥部材自動除去装置と接続することが可能です。
Prestigeにてサポートしている主な機能。
●キズ、へこみ、くぼみなど、物理的な欠陥を検出
●金属エッチング工程で発生するシミやムラの検出
●微細金属加工における表面状態観察
●欠陥部材自動除去装置(Prestige、オプション機能)
等
目次
特長
キズ、ゴミ、へこみ、くぼみなど、物理的な欠陥を検出
ミクロンレベルの欠陥を検出。通常の欠陥検出はどのような欠陥があるかを検査機器にレシピとして登録させておくことが必要ですが、Prestigeでは、独自のアルゴリズムにより事前にレシピに記憶させていない欠陥においても、欠陥として検出することが可能。レシピの作成を容易にします。
金属エッチング工程で発生するシミやムラの検出
光学の技術を応用し、シミ、ムラを検査することが可能。今までは、物理的なキズ、ゴミ、へこみ、くぼみなどの検査装置とは別にシミやムラを検査する装置を使用する形ではありましたが、このPrestigeでは、両方の検査を一度の検査工程で行うことを可能にします。また、シミやムラの度合を判定しデータとして抽出することを可能にします。
微細金属加工における表面状態観察
金属微細加工における表面上の粗さを検査することが可能です。RGBの光源を工夫することにより、表面加工がどのような結果になっているか、検証するターゲット箇所を設定し比較することが可能。従来では、個別に顕微鏡を使用し、個別に抜取り検査にて確認を行っていた作業を、キズやへこみ、くぼみを検査する工程で撮像したデータを応用することで、検査工程を削減します。
欠陥部材自動除去装置(Prestige、オプション機能)
欠陥検査装置で検出した欠陥部材を自動で除去する装置。Prestigeにて検出した欠陥部材の位置情報を欠陥部材自動除去装置に自動で配信することにより、欠陥部材を自動で、削除致します。
用途例
| 微細金属加工製品 |
半導体における微細欠陥検出技術を活かし、ミクロンレベルでのキズ、ゴミ、へこみ、くぼみ等の検出に活用することが可能。
|
|---|---|
| その他、金属微細加工関連製品 |
金属エッチング関連製品では、さまざまな形状の製品に対応する必要があるため、標準で用意している検査装置では対応が難しく、Prestigeでは、個別に使用される製品にカスタマイズして出荷することができるため、様々な金属微細加工製品に使用することが可能。 (例)エッチング加工品、表面加工品 等 |
| 金属加工製品 欠陥品除去 |
基板、金属シートに複数配置されている金属エッチング製品を外観検査したのち、欠陥品を手動で除去していた作業を欠陥部材自動除去装置を使用し、煩わしかった手作業における除去を自動化し除去におけるスループットを向上させ、かつ、人的ミスによる良品の除去、不良品の未除去を防止。
|
よくあるご質問
Q. 検査する対象の製品のワークサイズに制限はありますか?
通常、300mmx500mm程度のサイズであれば、問題なく対応可能です。ワークサイズが1000mmx2000mmなど大きい場合でも、製品をカスタマイズすることにより対応可能な場合がありますので、別途下記、問い合わせ先までご連絡ください。
inquiry.jp1@hzcctech.net
Q
Q. 金属加工製品が特殊な構造であるため、検査装置をカスタマイズしていただけますか?
特殊な構造である場合、その製品を確認する必要がありますが、検査装置をカスタマイズすることが可能です。どのようなカスタマイズが必要かなど、確認する必要があるため、下記問い合わせ先までご連絡ください。
inquiry.jp1@hzcctech.net
Q. 金属加工製品の表面、裏面の両方を検査することは可能ですか?
両方を検査することが可能です。また、同一行程の検査で行うことも可能です。
Q. 検査対象サンプルを提供した場合、無償でテスト評価をしていただけますか?
検査対象品を実際に検査可能かどうか事前確認したいため、お問い合わせください。
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