気体・液体マスフローコントローラ

気体・液体マスフローコントローラ
各種流体の精密制御を実現します
各種流体の精密制御を実現します

当社の持つ流体制御技術により、気体や液体を高精度安定供給することで、半導体や液晶、各種電子デバイスの製造プロセスに貢献します。

特長

低価格マスフローコントローラ MC-10シリーズ

ラバーシール、ソレノイドアクチュエータを採用することで、低価格を実現したガス用マスフローコントローラです。

高性能マスフローコントローラ MC-3000Lシリーズ

 メタルシール、ピエゾアクチュエータを採用することで、±1.0%S.Pの高精度を実現したガス用マスフローコントローラです。

液体マスフローコントローラ LC-3000Lシリーズ

当社独自のセンサ技術により高精度を実現した液体用マスフローコントローラです。

気化器 VUシリーズ

液体マスフローコントローラLCシリーズで液体制御をした後、気化器を設置することで、液体をガス供給することが可能です。

ガス加熱器 HXシリーズ

ガスを瞬時に設定温度まで加熱するガス加熱器です。最高300℃までの温度に対応しています。

用途例

各種電子デバイスの開発、製造現場 各種流体や流量、使用条件に合わせた製品をご提案します。 また、それらのシステム化にも対応しています。

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