気体・液体マスフローコントローラ

各種流体の精密制御を実現します

各種流体の精密制御を実現します

当社の持つ流体制御技術により、気体や液体を高精度安定供給することで、半導体や液晶、各種電子デバイスの製造プロセスに貢献します。

気体・液体マスフローコントローラやメータ、気化器、ガス加熱器、供給システムなど様々な製品ラインナップをまとめた総合カタログを是非ご覧下さい。

特長

低価格マスフローコントローラ　MC-10シリーズ

ラバーシール、ソレノイドアクチュエータを採用することで、低価格を実現したガス用マスフローコントローラです。

高性能マスフローコントローラ　MC-3000Lシリーズ

　メタルシール、ピエゾアクチュエータを採用することで、±1.0%S.Pの高精度を実現したガス用マスフローコントローラです。

液体マスフローコントローラ　LC-3000Lシリーズ

当社独自のセンサ技術により高精度を実現した液体用マスフローコントローラです。

気化器　VUシリーズ

液体マスフローコントローラLCシリーズで液体制御をした後、気化器を設置することで、液体をガス供給することが可能です。

ガス加熱器　HXシリーズ

ガスを瞬時に設定温度まで加熱するガス加熱器です。最高300℃までの温度に対応しています。

各種電子デバイスの開発、製造現場	各種流体や流量、使用条件に合わせた製品をご提案します。また、それらのシステム化にも対応しています。