水銀プローバCVmapシリーズ

水銀プローバCVmapシリーズ
再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システム
再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システム

アメリカFour Dimensions社の製品です。Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定できます。
ユーザが最大200箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-k、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。

特長

水銀自体が電極の役割となり、パターン形成が不要

CVmapは、水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。水銀が電極の代わりになるため、コストや時間を要する電極形成が不要です。

独自のコンタクト方式は、非常に優れた再現性、安全性を実現します。SiC、GaN、Si-Epiなど、様々なタイプのウエハに対応。迅速にマッピング測定が行えます。

用途例

操作性に優れたセミオート機

Windowsベースの操作系とモータードライブされた制御系、測定部を内蔵したコンパクトな一体型のセミオート機です。

ユーザが最大200箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-k、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。

操作性に優れたセミオート機
自動搬送対応のフルオート機

C to C (Cassette to Cassette)自動搬送に対応したモデルです。

 

2点からのプローブ方式を用いたC-V、I-V測定器です。ウェハは6、8、12インチのサイズに対応し,ウェハ全面を任意サイトで測定することができます。等高線・3Dマップも作成できます。

自動搬送対応のフルオート機
手動操作に特化したマニュアル機

内部測定機能と自動マッピングソフトウェアを取り除いた、手動操作に特化したモデルです。

試料台の移動や水銀プローブのコンタクト操作は前面パネルのボタンで行います。試料台はモーターで動作する電動式で、ウェハサイズは1~8インチに対応しています。外部計測器と組み合わせてCV測定、IV測定ができます(測定には外部計測器が別途必要です)。オプションとして計測・解析用のソフトウェアを取り揃えています。

手動操作に特化したマニュアル機

関連記事

もっと見る