非接触型シート抵抗測定システムDELCOM

非接触型シート抵抗測定システムDELCOM
サンプル台に設置するだけで即座に測定結果が得られる測定レンジの広い非接触式のシート抵抗測定器
サンプル台に設置するだけで即座に測定結果が得られる測定レンジの広い非接触式のシート抵抗測定器

アメリカDELCOM instruments の製品です。
DC渦電流方式の非接触型シート抵抗測定システムは、半導体/液晶基板、太陽電池セル、フレキシブル材料、各種導電性フィルム等の研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、サンプルへの物理的損傷を与えず、他社に無い幅広い測定レンジにて高精度な測定を実現します。

特長

試料を設置するだけで即座に計測可能

センサー部に資料を設置させるだけで即座に計測結果が得られます。また、付属のソフトウェアによって単位換算、測定ログ管理等の詳細なデータを記録することもできます。簡便なテストから工程管理まで幅広くお使いいただけます。

非接触・DC渦電流式による幅広い計測範囲

従来の4探針(接触式)計測に比べ、試料に傷をつけずに広範囲の抵抗値を得られます。対象試料に対して適した4つのレンジからお選びいただけるだけで広範囲の抵抗値の測定を行うことができ、小片チップからフィルムなどの大面積の計測にも対応できます。

用途例

各種半導体ウェーハの抵抗率測定が簡便に行えます

広い測定範囲によって、低抵抗基板から高抵抗基板、各種化合物半導体ウェーハの計測が可能です。

ITO膜や導電性薄膜の抵抗率評価・管理に用いることができます

各種導電性薄膜の抵抗率管理にもご使用することができます。単品の評価だけでなく製造ラインに組み込むことにより製品の管理にもご使用することができます。 リジットな試料のみならず、薄膜形成フィルムのような薄いサンプルにも対応致します。

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