流量コントロールシステム FC6000

流量コントロールシステム FC6000
変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現
PFA製UCUF形高精度超音波流量計、FCV形コントロール弁および超音波流量計用変換器搭載のFCA6000形コントローラで構成される分離形の流量コントローラです。
超音波流量計検出器およびコントロール弁の選択により、広範囲の流量制御が可能です。純水、超純水、各種薬液、CMPスラリーなどの流量制御にご使用いただけます。

特長

変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現

  • 耐気泡性能、流量計測安定性の向上
  • 広範囲の流量制御が可能
  • 低消費電力
  • 接液部は耐食性の高いPFAおよびPTFEを採用

用途例

変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現
半導体製造装置、薬液装置組み込み用に好適

Tokyokeiso Fc6000 Main01

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