クランプオン型超音波流量計 UCL/SFC010C.011C

半導体製造装置など高いクリーン度を要求されるプロセスに最適です。
半導体製造装置など高いクリーン度を要求されるプロセスに最適です。
PFAチューブ用のクランプオン超音波流量計です。
小口径から1”までのチューブサイズに対応。流量計取付けのためのチューブ切断・施工が不要で、既設のチューブに挟み込むだけで流量計測ができます。
変換器は1ch形およびマルチチャンネル形をラインナップ、1台の変換器で最大6台までの検出器を接続できます。
特長
半導体製造装置など高いクリーン度の要求されるプロセスに最適です。
- 既設のチューブを挟むだけで流量計測可能
- 変換器(SFC011C)により1台で最大6ラインを同時計測できる
- 30msの演算処理
- 計測前にゼロ点調整を行うことで計測する流体に対し、最適な条件で計測できます。
用途例
半導体製造装置などの流量計測に最適

