集積化ガスシステム用小型圧力調整器 L12シリーズ

特長

集積化ガスシステム(IGS)に最適化された設計

本製品は、集積化ガスシステム(IGS)にあわせて設計された高精度の圧力調整器です。
パネル仕様に合わせて、Cシール、Wシール継手に対応するほか、圧力調整時の操作性を高めたトールノブ仕様にも対応します。

高純度ガスに対応した内部機器

内部のガス配管、バッファータンク等にステンレス材を標準採用し、高純度ガスの供給を可能にしました。
また、用途に応じて内部配管の溶接にも対応します。

マスフローコントローラー(MFC)の性能を阻害しない構造

MFCの応答性を損なわないよう、摩擦ダンパーを搭載し、弁の開閉スピードを遅くしました。そのため、MFCの開閉時のハンチングを低減することができます。

不活性ガスから腐食性ガスまであらゆる物性のガスを供給

接ガス部材質の真空二十溶解材への変更や、弁シート材質の変更等のオプションにより、危険性の高い腐食性ガスにも対応します。

用途例

集積化ガスシステム(IGS)へ搭載	多様な圧力・流量条件に対応しています。 メタルガスケット継手仕様(オプション)により、配管スペースの削減に寄与します。