集積化ガスシステム用小型圧力調整器 L12シリーズ
特長
集積化ガスシステム(IGS)に最適化された設計
本製品は、集積化ガスシステム(IGS)にあわせて設計された高精度の圧力調整器です。
パネル仕様に合わせて、Cシール、Wシール継手に対応するほか、圧力調整時の操作性を高めたトールノブ仕様にも対応します。
高純度ガスに対応した内部機器
内部のガス配管、バッファータンク等にステンレス材を標準採用し、高純度ガスの供給を可能にしました。
また、用途に応じて内部配管の溶接にも対応します。
マスフローコントローラー(MFC)の性能を阻害しない構造

MFCの応答性を損なわないよう、摩擦ダンパーを搭載し、弁の開閉スピードを遅くしました。そのため、MFCの開閉時のハンチングを低減することができます。
不活性ガスから腐食性ガスまであらゆる物性のガスを供給
接ガス部材質の真空二十溶解材への変更や、弁シート材質の変更等のオプションにより、危険性の高い腐食性ガスにも対応します。
用途例
| 集積化ガスシステム(IGS)へ搭載 |
多様な圧力・流量条件に対応しています。 ![]() |
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