高純度半導体製造プロセス用精密圧力調整器　L96シリーズ

特長

正圧・負圧を境目なくリニアに制御

製品に内蔵された圧力調整スプリングは、端部と中間部のバネピッチが違うため、圧縮バネとしても引張バネとしても作用するように出来ています。
このバネの力がスムーズに変化し、負圧と正圧を境目無く調整することが出来ます。

デッドスペースの少ない内部構造

継手部を突合溶接にすることによりデッドスペースを少なくし、内容積を極力抑えた構造となっているため、パージ効率を向上させました。

高レベルのリーク性能

外部シールにメタル・シールを採用し、高いリーク性能を実現しました。

用途例

低蒸気圧ガスの安定的な供給	BCL3、WF6等の低蒸気圧ガスを真空領域にて安定的に減圧することができます。 本製品は、デバイスメーカー様にて多数の採用があります。