半導体で培った微細欠陥検出を金属加工製品検査装置へ。

この外観検査装置、Prestigeでは、ありとあらゆるミクロンレベルの欠陥を検出することが可能です。通常、欠陥検出においては、欠陥の大きさ、形などを検査装置にレシピとして登録し、そのレシピに基づき検査する方式がとられますが、弊社の独自の検査アルゴリズムにより、検査工程中でも、欠陥と思われるものが存在した場合、レシピに登録していないような欠陥でも欠陥として検出することが可能です。

また、物理的に検出できる欠陥以外にも光学の技術を応用し、エッチング工程で発生しうるシミやムラなども併せて検出することが可能です。なお、検査対象製品の表面、裏面を同一の検査工程で検査することにも対応しております。さらにオプション装置を使用することにより欠陥部材の発生箇所をそのオプション装置と連携し自動で欠陥部材を取り除く欠陥部材自動除去装置と接続することが可能です。

Prestigeにてサポートしている主な機能。
●キズ、へこみ、くぼみなど、物理的な欠陥を検出
●金属エッチング工程で発生するシミやムラの検出
●微細金属加工における表面状態観察
●欠陥部材自動除去装置（Prestige、オプション機能）
等

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