静電チャック 説明資料

静電チャックとは、電気的な力であらゆる対象物(ワーク)を吸着、搬送する機器です。

静電チャックとは半導体を製造する過程において、基板材料となるシリコンウェ ハーを大気・真空を問わず吸着、把持する機器です。近年ではその吸着力を生かし、工場の自動化を促進するための静電気ロボットハンドとして、様々な現場で活躍しています。