静電吸着式 パーティクルコレクター

パーティクル対策の新スタンダード

パーティクルコレクーとは、半導体製造の現場で活躍する「静電チャック」の技術を応用した、パーティクルを捕捉・集塵するツール
です。一般環境からクリーンルーム、真空環境までさまざまなユースケースに対応できます。この資料ではパーティクルコレクターについての概要と特徴、また導入事例について掲載しています。