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成膜レシピ制御型自動蒸着システム:ADS-E86
"レシピ制御型自動蒸着装置"は、高融点金属から半導体、酸化物まで、8inch基板に蒸着が可能な自動蒸着装置です。 大型の主排気ポンプを備え、高真空環境下での蒸着が可能で、リフトオフ蒸着に最適な基板冷却機能を備えています。 自社開発のレシピ制御ソフトを標準装備しており、基板セット後からは全自動操作され、繰り返し多層膜蒸着や、異種材料の多層膜蒸着までレシピ制御ができます。
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出展団体情報
研究・開発のお手伝いをします!
当社は、「未来をつくる最先端科学技術を追究する研究者や技術者の方々」が「研究開発、製品開発」に必要な商品を提供致します。
真空関連機器の取扱メーカー100社以上の製品の販売と半導体デバイス開発を製造分野で利用される海外トップメーカーの計測機器やコンポーネントの輸入/販売/サービスまで一貫して提供致します。設立時から培った「真空技術」を応用した薄膜蒸着装置/分析機器/真空搬送機器などの自社開発製品は、自動制御ソフトウエアとの組み合わせにより効率化と使い易さ向上を目指すとともに、お客様の特注ニーズにも柔軟に対応致しま��。
| 出展団体名 | 株式会社アールデック |
|---|---|
| 所在地 | 305-0051 茨城県つくば市二の宮1-16-10 |
| 設立 | 1988年06月 |
| URL | https://rdec.co.jp/ |