株式会社クリエイティブテクノロジー

静電吸着式「パーティクルコレクター」

ミクロンレベルのパーティクル対策に最適な静電吸着式「パーティクルコレクター」

静電吸着式「パーティクルコレクター」
静電吸着式「パーティクルコレクター」
パーティクルコレクターとは、半導体製造の現場で活躍する「静電チャック」の技術を応用した、パーティクルを捕捉・集塵するツールです。
弊社では一般環境からクリーンルーム、真空環境までさまざまなユースケースに対応できるパーティクルコレクターをご用意しております。
空間のクリーン化、製品への異物混入防止などさまざまな用途でご使用いただくことができます。

メッセージ

「静電気の力を最大限に引き出し、社会に貢献していく」というビジョンのもと、私たちクリエイティブテクノロジーは事業展開を行っています。 パーティクルコレクターは、対策が難しいとされるミクロンサイズ以下の微細な異物をターゲットにした、静電吸着式の新しいツールです。わずかな異物も許されない半導体関連装置や工業製品の量産ラインなど、さまざまな現場のサポートアイテムとして普及し始めています。

株式会社クリエイティブテクノロジー 営業部

「静電気の力を最大限に引き出し、社会に貢献していく」というビジョンのもと、私たちクリエイティブテクノロジーは事業展開を行っています。 パーティクルコレクターは、対策が難しいとされるミクロンサイズ以下の微細な異物をターゲットにした、静電吸着式の新しいツールです。わずかな異物も許されない半導体関連装置や工業製品の量産ラインなど、さまざまな現場のサポートアイテムとして普及し始めています。

静電吸着式「パーティクルコレクター」の詳細

特長

ミクロンサイズ以下のパーティクルに効果的

パーティクルコレクターは、対策が難しいとされるミクロンサイズ以下の微細な異物をターゲットにした、静電吸着式のツールです。 一般的なフィルターが通過させてしまうような小さなパーティクルを、電気的な力で静かにキャッチします。パーティクルの種類や材質は問いません。 パーティクルがキャッチされる様子は本ページの動画からご覧いただけます。

ミクロンサイズ以下のパーティクルに効果的

非接触式だから繊細な環境でも使用可能

パーティクルコレクターにはいくつかのタイプがありますが、いずれも対象物やその周辺部材への接触を必要としません。直接触れると傷つきやすい繊細な製品の生産工程であっても、安心してご使用いただけます。 パーティクルがキャッチされる様子は本ページの動画からご覧いただけます。

非接触式だから繊細な環境でも使用可能

AC100Vで駆動

パーティクルコレクターは高電圧を使用した製品ですが、専用電源も自社にて開発を行っているため、AC100Vのコンセントで駆動するよう設計しています。タイプにより内部電源、外部電源のものがあります。

AC100Vで駆動

定期的なクリーニングで繰り返し使用可能

定期的に工業用アルコール(IPA)等を含ませたワイパーで拭き取っていただくことで、繰り返しご使用いただけます。クリーニングの頻度については、用途・使用環境により異なりますので、標準期間は設定しておりません。

定期的なクリーニングで繰り返し使用可能

動画

用途例

ハイブリッドでパーティクルを強力にトラップするイオナイザータイプ 静電吸着ボードにフレーム型のイオナイザーを設置したタイプです。
イオナイザーでパーティクルを帯電させ、静電吸着ボードで強力にトラップします。
装置の排気口など気流の下手となる箇所に設置することで、より高い効果を発揮します。

(例)空気清浄機の排出口付近、設備の排気口付近、作業場におけるパーティクル発塵源付近など

ハイブリッドでパーティクルを強力にトラップするイオナイザータイプ
真空環境にも対応したクーロンタイプ すべての構成材質にアウトガス対策を施した材料を使用することも可能で、真空と大気を行き来する際に舞い上がるパーティクルの対策に適しています。
放電トラブルが発生しやすい低真空領域での運用にも独自のノウハウがあり、実績も豊富です。
クーロンタイプは周囲への電気的な影響が小さく、帯電を嫌う環境での使用にも適しています。

(例)真空装置におけるロードポート、ロードロック室、トランスファーチャンバーなど

真空環境にも対応したクーロンタイプ
引き寄せ効果も発揮する電界タイプ 距離のあるパーティクルを電気的な力のみで引き寄せることは容易ではありませんが、電界タイプは特殊な設計で、無風状態でも一定距離のパーティクルをトラップできるツールです。
パーティクルコレクターが発する電界が広範囲に渡るため、過度に帯電を嫌う環境での使用は推奨しておりません。

(例)工業製品の生産ライン近傍など

引き寄せ効果も発揮する電界タイプ

よくあるご質問

クリーニングしていれば永久に使用できますか?
吸着面は基本的に樹脂であり摩耗するため、あくまで消耗品という位置づけです。
繰り返し使用することで吸着力は低下しますが、どの程度で消耗するかはお客様の工程により異なりますので、標準期間は設定しておりません。
キャッチできるパーティクルの種類に決まりはありますか?
金属、樹脂、綿埃など、導電性・絶縁性に関わらずあらゆる種類のパーティクルに対応しています。
ミクロンサイズ以下がメインターゲットであり、大きいパーティクルや重量のあるパーティクルの捕捉には適していません。
サイズは決まっていますか?
イオナイザータイプにはA2、A3と規格サイズもありますが、基本的に用途・使用環境にあわせたオーダーメイド設計とさせていただいております。
まずはお気軽にお問い合わせください。

静電吸着式「パーティクルコレクター」のサービスメニュー

静電吸着式「パーティクルコレクター」  説明資料

静電吸着式「パーティクルコレクター」 説明資料

静電気の力でパーティクルを吸着、現場の悩みを解決

静電吸着式「パーティクルコレクター」の特徴
・高い集塵効果
・消費電力が小さい
・薄型で軽量構造
・動作音が無音

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静電吸着式「パーティクルコレクター」  紹介リーフレット

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掃除機ではとりきれない、小さなパーティクルを効率的にキャッチします。

静電吸着式「パーティクルコレクター」の特徴
・高い集塵効果
・消費電力が小さい
・薄型で軽量構造
・動作音が無音

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静電気の力を最大限に引き出し、社会に貢献していく
静電チャックのパイオニア

1985年、脆性材料であるファインセラミックスの加工技術開発からクリエイティブテクノロジーはスタートしました。
1990年代には、その加工技術をコアとして、半導体製造装置向け静電チャックの開発に成功し、さらに2000年代前半には、それまで培ってきた静電チャックの開発製造技術をもとに静電チャックの再生事業を立ち上げ、世界中のお客様とのつながりを構築しました。そして現在、私たちは半導体業界で利用されてきた技術をさまざまな形に進化させ、付加価値の高い静電吸着応用製品の開発に取り組んでいます。
クリエイティブテクノロジーは、モノとモノをくっつける技術で、あらゆる分野の省力化・IoT化に貢献していきます。

出展団体情報

出展団体名株式会社クリエイティブテクノロジー
所在地2130034 神奈川県 川崎市高津区上作延507-1
設立年月1985年06月
従業員規模101名-500名
URLhttps://creative-technology.co.jp/

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