特長

あらゆる産業、用途を想定したセンサヘッド

Micro-Epsilon社のセンサは様々な産業・用途に対応する為標準センサのみで30種類以上あり、またカスタマイズも可能です。

【センサ　ラインナップ】
Φボアホール内径検査等にΦ4mmのミニチュアセンサ
複雑なジオメトリに最大傾斜角48°のIFS2407シリーズ
真空対応センサで半導体業界に多く採用
透明体の厚みを片側測定で最大5層可能
分解脳はナノメートルながら測定範囲は0.3 - 30mmまでとダイナミック

堅牢でパワフルなコントローラ

世界最速クラスを誇る弊社コントローラは最大70kHzでの計測が可能な為、インラインでの高速な精密測定が可能です。またその精度から研究用途でも多く使用されており、小型ながらパワフルな設計になっております。

インターフェースはバラエティー豊かなアナログ/デジタル出力が可能です。

パラメータ設定につきまして、付属の無償ソフトウェアから設定、確認、計測が可能です。

コントローラは全センサと互換性がある為、センサ毎にコントローラを購入する必要がなく、コストパフォーマンスに優れております。

カスタマイズ対応可能

Micro-Epsilon社はお客様と長期の関係構築をするという理念の元、お客様からの要望に可能な限りお応えする為カスタマイズ対応致します。

用途例

シリコンウェーハのたわみ測定	共焦点クロマティックセンサがウェーハ表面をスキャンし、ウェーハのたわみや歪みを高精度に測定。 コントローラは最大測定速度が 70 kHz と世界最速です。短いタクトタイムで高精度なウェーハ検査が可能です。
レンズの 中心厚測定	品質管理の為、公差範囲を逸脱することがないよう眼鏡のレンズや対物レンズといった光学レンズの中心厚を共焦点クロマティックセンサで測定します。 測定は片側からのみ行い、非常に薄いレンズであっても測定可能です。
安全ガラスのギャップモニタリング	安全ガラスの品質・工程管理にマルチピークオプションの備わった共焦点クロマティック変位センサが使用されています。 Micro-Epsilon社の共焦点クロマティックセンサはミクロン精度の厚み測定を可能にし、各レイヤー間で測定した6つの測定値を評価することにより最大5層までの厚み測定が可能です。 これらの測定結果は高速に処理をされ、リアルタイム計測で使用されます。