静電チャック
バキューム吸着が難しいワークの搬送に「静電吸着」という新提案！
バキューム吸着が難しいワークの搬送に「静電吸着」という新提案！
半導体製造の現場で活躍する「静電チャック」をFA機器に応用したワーク搬送ツールです。
半導体基板の大型化などを見据え、大型サイズにも対応できる静電チャックの開発を進めています。
バキューム吸着が難しいワークの吸着搬送は、静電チャックにお任せください。
特長
穴構造素材の吸着が可能
- 静電吸着はバキューム吸着のように素材を吸い込んで吸着しません。
- 電気的な力で吸着するため、たとえばエッチングパーツのような通気性のある素材の搬送が容易です。
- 吸着原理に空気の移動が関係しないため、大気・真空を問わず使用可能です。
対象物に吸着痕が残らない・傷をつけない
- 電気的な力で対象物を均一に吸着するため、対象物への物理的な負担がありません。
- 対象物にシワやヨレ、吸着痕等が残りにくい構造です。
- 薄い金属箔やフィルムといった繊細な対象物にも対応しています。
積層された対象物を一枚ずつ吸着することが可能
- 電気的な力は直接触れた部分にのみに働くので、重なった素材を2枚取りしにくい構造です。
- 2枚取りの原因が繊維の絡みや摩擦の場合、機械的なアシスト機構もご提案しています。
対象物のサイズに合わせたパッド交換が不要
- サイズの大きい静電チャックで小さい対象物を吸着、搬送することができます。
- 対象物のサイズによってパッド部分を交換しなくて良いのも静電チャックの特徴です。
用途例
| 穴のあいた対象物の吸着搬送 | 材質に関わらず、穴のあいた対象物の吸着搬送に苦労されているお客様はよくいらっしゃいます。 差圧が重要となるバキューム吸着では難しいこのような対象物も、静電吸着であればスムーズな吸着搬送を実現できます。  |
|---|---|
| 金属箔や金属メッシュの吸着搬送 | バキューム吸着のようにポイントではなく、面全体で優しく対象物に接触するため、傷つきやすい繊細な電子部品やパーツも安全に吸着搬送することができます。 |
| 繊維素材の 吸着搬送 |
シワやヨレが発生しやすい繊維素材の搬送工程や、バキューム吸着では複数枚取りが問題となる工程での導入も進んでいます。 |
よくあるご質問
Q. 静電チャックが対象物や人体に悪影響を与えることはありますか？
静電吸着は対象物内部の電荷の移動により吸着力が発現するため、基本的に対象物にダメージを与えることはありません。
ただし、対象物の材質によっては、帯電が残りやすいことも考えられます。
もしご心配であれば事前に吸着テストを実施することを推奨しておりますので、お気軽にご相談ください。
Q. 静電チャックが不得意な環境はありますか？
静電チャックは水分が苦手なため、屋外での使用や濡れたワークの吸着には適しません。
同様に油分にも注意が必要です。
また、吸着力が湿度に影響される場合もありますので、空調の整った環境での使用を推奨しています。
Q. どのようなお手入れが必要ですか？
吸着面にごみやほこりが付くと吸着力が低下してしまいますので、必ず電源を切った上で、定期的に工業用アルコール（IPA）等を含ませたワイパーで拭き取っていただくことを推奨しています。