変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現

PFA製UCUF形高精度超音波流量計、FCV形コントロール弁および超音波流量計用変換器搭載のFCA6000形コントローラで構成される分離形の流量コントローラです。
超音波流量計検出器およびコントロール弁の選択により、広範囲の流量制御が可能です。純水、超純水、各種薬液、CMPスラリーなどの流量制御にご使用いただけます。

詳細を見る

150L/minまでをストレート配管で測定可能

UFはストレートPFAチューブを採用した表示付きの変換器一体形超音波流量計です。
超純水、純水、水の流量管理用として広範囲のアプリケーションに対応。

詳細を見る

半導体製造装置など高いクリーン度を要求されるプロセスに最適です。

PFAチューブ用のクランプオン超音波流量計です。
小口径から1”までのチューブサイズに対応。流量計取付けのためのチューブ切断・施工が不要で、既設のチューブに挟み込むだけで流量計測ができます。
変換器は1ch形およびマルチチャンネル形をラインナップ、1台の変換器で最大6台までの検出器を接続できます。

詳細を見る