河合光学の真空蒸着技術

河合光学の強み

河合光学株式会社は、1.0E-3Pa以下の高真空での薄膜形成技術を駆使し、紫外線から赤外線まで幅広い波長に対応する高品質なミラーやフィルターを提供しています。多様な材料を用いたカスタマイズ設計により、顧客のニーズに合わせた光学製品を精密に製造し、光学フィルムや半導体デバイスなど幅広い用途で活躍しています。

加工方法

河合光学の成膜技術には、真空蒸着とスパッタリングがあり、それぞれ異なる特徴を持っています。真空蒸着では高真空中での均一な薄膜形成が可能で、スパッタリングでは多様な材料を精密に成膜できます。二つの成膜技術を用いて、用途に応じた最適な製品を提供します。

主な主な蒸着膜・スパッタ膜・窒化膜

反射防止コート(ARコート)

光学素子に薄膜を施し、反射を抑えて透過率を向上させる技術です。コントラストが高まり、ゴースト像が減少します。主なコーティング方法には、真空蒸着やスパッタリングなどがあります

ハーフミラー

特定の波長の光を反射と透過に分ける機能を持ち、誘電体製は光の減衰が少ない一方、入射角で性能が変化します。金属製は光の減衰が大きいが、入射角の影響を受けにくいという特徴があります。

UVミラー

波長222nmの紫外線を放射する際に、人体に悪影響を及ぼす230nm以上の波長をカットする特殊な光学フィルターです。ウイルス除去や除菌などの用途で人がいる場所で使用可能であり、人体に影響のない波長222nmの紫外線を照射することができます。

コールドミラー／フィルター

赤外線を透過させて可視光を反射する光学薄膜を有する鏡です。赤外線の制御と熱の軽減に寄与します。この種のミラーは、液晶プロジェクターの光源部や医療用の光源反射鏡などで利用されています。

ビームスプリッター

透過率と反射率の比を1：1に均等に主な使用用途分割する無偏光ビームスプリッターと、無偏光の入射光をほとんど損失無く、S偏光（反射）とP偏光（透過）に分離する偏光ビームスプリッターがあります

NDフィルター

おもに金属膜の反射と吸収により 透過率を調整します。膜吸収による入射光の損失は大きく なってしまいますが、入射角や偏光の 変化による光学特性の変化がほぼありません。

レーザー用ミラー

基板表面に誘電体多層膜を蒸着することにより、吸収の無い高反射膜を作成出来ます。基板や薄膜材料を選定することにより、高出力レーザーに対しての耐久性を得ることも可能です。

金属膜コーティング

高反射率のAg、Au膜をはじめ、Ni、Crなど様々な金属膜のコーティングをおこなっております。 また、保護膜や増反射といったコーティングも可能です。

高精度な検査器

分光光度計、レーザー干渉計、デジタル顕微鏡、レーザー顕微鏡などの高精度な検査機器を使用し、製品の光学特性、平面度、外観、寸法、表面形状を厳密に測定します。これにより、非破壊・非接触で0.01μmまでの精度を実現し、製品の品質を保証しています。

経営理念

河合光学株式会社は、富士山周辺・箱根観光への交通拠点となっている静岡県東部御殿場市にあり、創立から一貫して真空蒸着技術の分野で独自の研究開発を推進してきました。
現在、光学の利用分野において真空蒸着による薄膜形成は、最も重要な技術のひとつになっており、当社は優れたテクノロジーとエンジニアリングで、お客様にご満足していただける製品を提供しております。