真空蒸着加工技術

河合光学株式会社は、光学分野において欠かすことのできない「真空蒸着」による薄膜形成の加工技術を提供しています。

河合光学株式会社は、光を特定の波長に分離するダイクロイックフィルター、光の反射を抑える反射防止コート、特定の割合で光を反射・透過するハーフミラー、赤外線を透過し可視光を反射するコールドミラーなど、真空蒸着技術を駆使した多様な光学製品を提供しています。

また、製品に合わせた装置の改造、冶具の開発など、お客様のご要望に沿ったカスタマイズも対応可能です。

ダイクロイックフィルターは、誘電体多層膜を用いて2つ以上の波長域の光を分離するフィルターです。このフィルターの特性により、特定の波長の光を透過させつつ、他の波長の光を反射または吸収することが可能です。

ダイクロイックフィルターは光学機器や顕微鏡など様々な分野で使用され、特定の色を抽出したり、光学系での光の効率的な操作を実現します。

ダイクロイックミラー DMの製品群

ダイクロイックミラー レッド（DM-Red）、ダイクロイックミラー グリーン（DM-Green）、ダイクロイックミラー ブルー（DM-Blue）

ダイクロイックフィルター DFの製品群

ダイクロイックフィルター イエロー（DF-Yellow）、ダイクロイックフィルター マゼンタ（DF-Magenta）、ダイクロイックフィルター シアン（DF-Cyan）

主な使用用途

プロジェクター、照明機器、色彩分析、測定機など

反射防止コート（Anti-Reflection Coating、ARコート）は、光学素子の表面に施される薄膜コーティングで、光の反射を抑えて透過率を向上させることによって、コントラストを高めたりゴースト像を減少させたりする効果があります。

このコーティングは、光学薄膜を利用して光の反射率を減少させる技術であり、乾式法の真空蒸着やスパッタリング、湿式法によるコーティング手法などが一般的に使用されています。

反射防止コートによって眼鏡の反射をなくすことで、レンズそのものが目立たなくなり、相手の目や顔の表情がよりよく見える効果があります。

反射防止コートの製品群

AR マルチコート、AR Vコート、AR 単層コート、AR middleband、AR broadband

主な使用用途

映像機器、メガネ、カメラレンズ、保護ガラス、レーザー用 など

ハーフミラーは特定の波長範囲の光を、所定の割合で反射と透過に分割する機能を持っています。

誘電体製のハーフミラーでは、光の減衰が非常に少ないという特徴がありますが、光の入射角によって性能が変わる傾向があります。一方、金属製のハーフミラーでは光の減衰はより顕著ですが、入射角による影響はほとんど受けません。

ハーフミラーの製品群

誘電体ハーフミラー（Dielectric Half-Mirror）、金属ハーフミラー（Metal Half-Mirror）

主な使用用途

映像機器、HUD、ホログラム など

コールドミラーは、赤外線を透過させて可視光を反射する光学薄膜を有する鏡です。この特性を活用して、赤外線の制御と熱の軽減に寄与します。この種のミラーは、液晶プロジェクターの光源部や医療用の光源反射鏡など、さまざまな用途で利用されています。

コールドミラー/フィルターの製品群

コールドミラー（CM）、コールドフィルター 標準型（CF-S）、コールドフィルター ワイド型（CF-W）

主な使用用途

照明、プロジェクター、医療照明、リフレクター

また、紫外線用コールドミラー（UVCM）は、紫外線を反射して可視光線、赤外線を透過します。300～500nmを反射するUV-3、250～500nmに反射帯を広げたUV-6があります。

紫外線用コールドミラー/フィルターの製品群

紫外線用コールドミラー（UV-3）、紫外線用コールドミラー（UV-6）、紫外線用コールドフィルター 標準型（UVCF-S）、紫外線用コールドフィルター ワイド型（UVCF-W）

主な使用用途

水銀ランプ用、メタハラ用、UV硬化装置、露光装置、環境試験機、印刷機、医療機器 など

UV-222nmフィルターは、波長222nmの紫外線を放射する際に、人体に悪影響を及ぼす230nm以上の波長をカットする特殊な光学フィルターのことです。このフィルターは、ウイルス除去や除菌などの用途で人がいる場所で使用可能であり、人体に影響のない波長222nmの紫外線を照射することができます。

UV-22nmミラー/フィルターの製品群

MIRROR-222nm （ミラー 222nm）、BPF-222nm（バンドパスフィルター 222nm）

ビームスプリッター

ビームスプリッターには、入射光を偏光も 含め、透過率と反射率の比を1:1に均等に 分割する無偏光ビームスプリッターと、 無偏光の入射光をほとんど損失無く、 S偏光(反射)とP偏光(透過)に分離する 偏光ビームスプリッターがあります。プリズム型と平板型があります。

NDフィルター

おもに金属膜の反射と吸収により 透過率を調整します。膜吸収による入射光の損失は大きく なってしまいますが、入射角や偏光の 変化による光学特性の変化がほぼ ありません。

レーザー用ミラー

基板表面に誘電体多層膜を蒸着することにより、吸収の無い高反射膜を作成出来ます。基板や薄膜材料を選定することにより、高出力レーザーに対しての耐久性を得ることも可能です。

金属膜コーティング

高反射率のAg、Au膜をはじめ、Ni、Crなど様々な金属膜のコーティングをおこなっております。 また、保護膜や増反射といったコーティングも可能です。

河合光学株式会社は、真空蒸着技術の分野で独自の研究開発を推進しています。経営者と従業員が一丸となり情報を共有し、安定した品質と高い安全性の製品を提供。顧客満足を追求し、一人一人の品質意識向上を図ることで、品質保証体制を強化しています。

高精度な検査器

分光光度計
光学特性を綿密に測定し、品質を保証。

レーザー干渉計
基板表面の平面度を測定。

デジタル顕微鏡
基板表面の外観（キズ・汚れ等）、角度、寸法を測定。

レーザー顕微鏡
非破壊・非接触で表面形状を高精度に測定（深さ0.01μmまで）。