水素社会実現に向けたオーバルの流量計

CO2を排出しないクリーンなエネルギー資源として水素の利用拡大が進められています。
オーバルは、微小流量から大流量まで対応できるよう水素計測用の流量計を各種取り揃えております。
オーバルでは燃料電池自動車用の水素ディスペンサー内の高圧水素流量計を手掛けており、豊富な実績と確かな技術で水素社会の実現に貢献します。

製品ラインアップ

MASFLO-OVALⅡ　非防爆形

気体の流量を質量ベースで正確に測定 / コントロールします。FHA シリーズは、高精度、かつコンパクトな気体流量計です。FHBシリーズは、FHA シリーズにコントロールバルブ（電磁式）を一体化した流量コントローラです。これらは、表示器・設定器などを内蔵したリードアウトユニット（ROU）と組み合わせることによって、簡易な流量計測／制御システムを構成することができます。各種ガスの供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント・半導体製造プロセス・研究所などで使用されるガスの流量計測、およびコントロールに最適です。

主な特長

• 5NCCM（mL/min〔normal〕）〜 500NLM（L/min〔normal〕）までの広い流量範囲をカバー
• ラミナーフローエレメントにより、最適なフルスケール調整が可能
• 高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能
• 優れた応答性
• マスフローコントローラに使われているコントロールバルブは、ノルマルクローズタイプの電磁式のため、応答性がよく安全に使用可能
• リードアウトユニットとの組み合わせにより、多様なアプリケーションに対応

 

MASFLO-OVALⅡ　防爆形

汎用形気体用質量流量計FHAシリーズの水素防爆構造モデルです。同様に、汎用形気体用質量流量コントローラFHBシリーズのコントロールバルブ部を水素防爆構造としたものがFHDシリーズです。

これらを組み合わせることによって、防爆形気体用質量流量コントローラを構成できます。各種ガスの供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント、半導体製造プロセス、研究所などの危険場所におけるガスの流量計測､およびコントロールに最適です。

主な特長

• 水素ガスにも適用可能な JIS 防爆構造“d3aG4”タイプ
• 5NCCM（mL/min〔norma1〕）～ 500NLM（L/min〔norma1〕）までの広い流量範囲をカバー（コントローラとしては、100NLMまで）
• ラミナーフローエレメントにより、最適なフルスケール調整が可能
• 真空から最高 39.2MPa まで､広範な使用圧力に対応
• 高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能
• 優れた応答性
• コントロールバルブは、ノルマルクローズタイプの電磁式のため、応答性が良く安全に使用可能
• リードアウトユニットとの組み合わせにより、多様なアプリケーションに対応

 

気体用マスフローメータ

気体用の熱式質量流量計です。加熱したセンサから流れによって奪われる熱量が質量流量と相関があることから流量を計測します。本器は、配管内に挿入されたセンサにより管内の代表流量を検出して全流量を測定しています。

主な特長

■次世代の熱式流量計
ブリッジ回路を持たない完全デジタル制御方式

■高機能化、ユーザーフレンドリー化

• USB接続による通信の簡易化
• HART通信機能
• ProfibusDP通信機能
• RS-485（Modbus）通信機能
• エラーログ機能（16種類の異常情報を最大200件まで記録）
• Min/Maxログ機能（流量、流体温度、変換機温度の最大、最小値を記録）
• トレンドメモリー機能（最大56時間の流量/温度トレンドを記録）

 

■メンテナンス性の向上

■リトラクタユニット（オプション）

• 液体を流したまま挿入形マスフローメータの取付け・取外しが可能
• センサへの汚れの付着が心配されるライン、一度稼働すると停止できないラインに最適

 

■その他の特長

• 流量範囲が広く、高精度
• 温度・圧力補正なしで、直接ノルマル流量

 

EXデルタⅡ（標準、スマートタイプ）

本器は、各種補正演算、レンジや各種係数を呼出し、設定、変更、自己診断やループチェックのできるインテリジェント機能を搭載。さらに、通信により、各パラメータの設定、呼出しはスマートコミュニケーションユニット（EL2310）で行うことができ、かつ上位コンピュータとの通信も可能としたスマート形渦流量計です。

センサ部は、固定形と、リプレーサブル形があり、リプレーサブルセンサは、ラインの流れを止めることなく、センサの点検・交換が可能です。

主な特長

• 2線式伝送を実現、計装コストの低減やシステムの簡略化が可能
• データ設定が容易
• メンテナンス性に優れ、保守コストの削減により安全性の増進が可能
• 配管に設置したままで、レンジ設定、パラメータ設定、校正などの保守作業が可能

 

DELTAFLOW Type F（標準形）

流速変化にともなう渦の発生を、サーミスタセンサの温度変化→抵抗変化→流速比例パルスとして取り出し、流量を計測します。

ガスパージ方式は、サーミスタセンサ部に外部からクリーンガス（常温）をパージする構造になっているため、サーミスタセンサに計測流体が触れません。従って、ダスト、ミストを含む気体や高温、低温の気体など、従来、計測が難しいとされていた気体を正確に計測できます。

主な特長

• 可動部が無く、圧力損失が低い
• メンテナンス性に優れている（リプレーサブルタイプあり）
• 再現性が良い

 

ガスオーバル

容積式ではめずらしいガス計測用の流量計です。ガス計測専用に高精密に設計された計量室構造を採用しています。空気、炭酸ガス、窒素ガスを始めとする一般気体の計測に最適です。

主な特長

• 高精度：±1％RD
• 電池駆動タイプあり（電池交換可能）
• 低圧力損失
• 防爆仕様あり

 

ALTImassⅡ（超高圧形・120MPa 水素対応）

本器は、オーバルが永年培ったコリオリ技術を基に、ユーザーニーズを凝縮した、より高性能で使いやすく、高い安全性を備えた超高圧形コリオリ流量計です。

主な特長

• 燃料電池車（FCV）、水素ステーションの普及に向け高まる高圧化のニーズに対応
• 最高使用圧力120MPa、水素対応
• 幅広い流量範囲（2.4～300Kg/h）
• 接液部に溶接箇所はなく、高圧ガスの計測に適した信頼性の高い構造
• 液体、気体に使用でき、広い流量範囲を、低い圧力損失で高精度計測
• 質量流量の他に温度を高精度に計測
• 流路に分岐が無く、洗浄性に優れた構造