インラインで高速に透過・反射スペクトル測定を行い膜厚、濃度、色などの検査が可能
当社のインラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊での膜厚、濃度、色などの検査が可能です。
測定可能膜厚範囲は 65nm~92μmと薄膜から厚膜まで対応しております。(屈折率1.5の場合)
測定原理は分光干渉方式のため、高い測定再現性を実現しつつ多層厚み測定にも対応しております。独自アルゴリズムの採用により高速でリアルタイムにモニタリングが可能なため、インラインフィルムモニターとして最適なシステムをご提案いたします。