真空封止容器・パッケージ向けゲッター材

成形型・焼結型ゲッター

旧式の蒸発型ゲッターとは異なり、容器・パッケージ内部に搭載して使用する固形タイプのゲッターです。

ゲッター合金の粉末を圧縮成形した非焼結型と、それを高温で焼結させた焼結型がございます。焼結型はスポンジのように内部に無数の微細な孔を持つ多孔質構造を特長とし、非常に大きな表面積を持ちます。これにより、コンパクトな形状ながらも高いガス吸着容量と吸着スピードを実現します。

X線管や電子管、魔法瓶（真空断熱）など、排気管による真空排気を行う、比較的大きなデバイスに最適です。お客様のニーズに合わせ、様々な形状やサイズでの提供が可能です。

ポーラス(多孔質)ゲッター	多孔質形状により、小さな容積の中に大きなゲッター質量と表面積を持つ焼結型ゲッター。室温下での高い排気速度と優れた機械的特性を備える。
DFタブレットタイプ	金属タブが付いているため、ゲッターの取り付けと溶接が容易。高速自動供給システムに最適。
ピル型・粒型ゲッター	様々なサイズ・寸法、非焼結型・焼結型をラインナップ。様々な封止デバイスにおいて高真空状態を維持可能。
ストリップタイプ・ シートタイプ	薄い金属基板の片面または両面にゲッター粉末をラミネートしたストリップタイプ、及びゲッター粉末を焼結させたシートタイプ。スペースが限られたデバイスに使用可能。単位面積あたりの高いゲッター性能を持つ。

用途例

• X線管および医療用加速器
• マイクロ波出力管
• 冷却型および非冷却型IRセンサー、光電子増倍管
• 真空断熱装置
• 機械式およびレーザージャイロスコープ
• 真空遮断器
• 真空断熱パネル（VIP）
• 集光型太陽熱発電 (CSP) 管
• 魔法瓶
• ランプ

成膜型ゲッター

MEMSセンサーなどの小型・薄型パッケージのニーズに応えて開発されたゲッターです。

パッケージのリッド（蓋）やウエハ上に、厚さ数μm（マイクロメートル）のゲッター薄膜を直接形成します。デバイスの内部スペースを占有することなくガス吸着機能を持たせることが可能です。

また、300℃/15分という比較的低温・短時間の条件で活性化できることも大きな特長です。


封止方法、デバイス・プロセスに合わせて3製品をラインアップしております。

PAGEリッド	リッドに対し、パターニングしたゲッターを成膜。リッドに直接成膜する為、ゲッター材料の切断、装着、スポット溶接などの作業が不要。
PAGEウエハ	シリコンやガラスウエハに対し、パターニングしたゲッターを成膜。8inchサイズのウエハまで成膜可能。
PAGEシート	コバール、ニクロム、SUSなどの基板にパターニングしたゲッターを成膜。形状や固定方法の自由度が高い、薄型でフレキシブルなシート構造。

用途例

• MEMSおよびMOEMS
• ジャイロスコープおよび加速度計
• 赤外線センサー
• RFデバイス
• 圧力センサー
• 共振器
• 光学デバイス
• 生体医学デバイス
• 水晶デバイス・タイミングデバイス
• 原子時計セル