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リフトオフ装置

株式会社ダルトン

リフトオフ装置

ウエハーの状態に合わせ、 (剥離しにくい、傷つきやすい、割れやすいなど) 各工程及び仕様を選定し、装置をカスタマイズします。

リフトオフとは、露光後に金属膜を蒸着あるいはスパッタし、その後剥離液によってレジストを除去することで、パターニングした領域のみ金属膜を残す手法です。エッチングなどの工程を省けるため、コストや作業工数の削減につながります。

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株式会社ダルトン

株式会社ダルトン

創造の、共創へ。

私たちダルトングループは、ラボ環境の構築からモノづくりの現場まで、あらゆる価値創造活動を支えるパートナーとして、お客様とともに人と社会と環境に広く深く貢献します。

研究施設事業、教育施設事業、粉体機械事業、クリーン機器事業、半導体製造装置事業を柱に、研究開発現場から生産現場まで、幅広いソリューションをご提供しております。

出展団体情報

出展団体名株式会社ダルトン
所在地104-0045 東京都 中央区築地5-6-10 浜離宮パークサイドプレイス
設立年月1939年09月
従業員規模101名-500名
URLhttps://www.dalton.co.jp/