特長
幅広いラインアップ
ダルトンのリフトオフ装置には6種類の標準ラインアップがあり、研究開発と量産、それぞれの用途に適切な機構を備えています。ラインアップの一部をご紹介します。
HU型(量産向け、バッチ式/枚葉式併用)
- バッチ処理(複数枚の処理)と枚葉処理(一枚ずつの処理)を理想的に組み合わせた、量産を主目的としたフラッグシップモデルです。
- 高圧Jetチャンバーと剥離槽を有し、「より速く、より確実な」仕上がりを可能にします。
HM型(研究開発向け、枚葉式)
- 少量多品種の生産・試作・開発に対応した枚葉処理モデルです。
- 剥離槽が不要で、高圧Jetチャンバーのみで処理が可能な、バリが出にくいウエハーに最適です。
- 超精密洗浄が可能なメガソニックシャワー・パドル機構に対応します(オプション)。
その他ラインアップについては、資料をダウンロードしてご覧ください。
上記2種類の装置概要は、下部の動画でご確認ください。
★リフトオフ装置は、東京都墨田区のテストセンターにてテストが可能です。
高いカスタマイズ力
ダルトンでは、お客様のご要望に合わせて柔軟に装置のカスタマイズが可能です。
リフトオフ装置についても、6種類のラインアップでそれぞれ剥離槽、リンス槽、スピンチャンバーの数などのカスタマイズに対応します(対応可能なカスタマイズはラインアップにより異なります)。
【カスタマイズ例】
HU型(量産向け、バッチ式/枚葉式併用)
上部の図面の通り、高圧Jetチャンバー、剥離槽、リンス槽の数を柔軟に変更できます。
その他ラインアップでも、類似するカスタマイズやオプションの付加が可能です。
詳しくは資料をダウンロードしてご覧ください。
豊富なオプションラインアップ
ダルトンのリフトオフ装置には、剥離層における金属膜除去工程と、除去されたスラッジの回収工程について幅広いオプション機能を付加させることが可能です。
【オプション例】
①Suffix System(Serface Ultra sonic Flat fix System)(特許取得技術)
剥離層の超音波効率を向上させ、処理時間の大幅短縮と危険な薬液を使用しない処理を実現します。
②DoM Jet System(Down flow and Multi mode Jet System)(特許取得技術)
液中における高圧Jet機能とクイックダンプ機能を有するシステムです。
液中高圧Jet機能は枚葉の高圧Jetチャンバーに代わる機能で、ウエハーに強固にこびりついた金属膜の剥離が可能です。
クイックダンプ機能では、QDR(クイックダンプリンス:剥離層への急速排水と給水を数回行って洗浄する方法)と同様の動作でスラッジの再付着を防止します。
③USF System(Ultra mesh Sludge Filtration System)
リフトオフ工程で発生する大量のスラッジを高効率に回収するシステムです。
従来のスラッジ回収方式は、排出された液とスラッジをメッシュかごで直接受ける方法だったため、排出液によりスラッジがかごから溢れ出し循環ラインへ流れていました。更にメッシュかごにも目詰まりが発生していました。
USF Systemは、液排出口とスラッジ回収かごの間に特殊メッシュを設置し、特殊メッシュを介してスラッジをかごで受ける方式です。ほとんどの排出液はかごで受ける前に特殊メッシュから流れ落ちるため、スラッジ回収かごには少量の液しか流れず、スラッジが液によって溢れかえることがありません。そのため効率的にスラッジを回収することができます。
この他にも、多数のオプション機能の付加が可能です。
詳しくは資料をダウンロードしてご覧ください。