ガス置換パッケージ向けゲッター材

水分ゲッター

有機EL（OLED）や各種センサー、埋め込み型医療機器など、多くの電子デバイスにとって水分は大敵です。SAESは、パッケージ内部の微量な水分を除去するため、多様な水分ゲッターを提供しています。

パッケージ内部に塗布・硬化して使用する「塗布型水分吸着材」、パッケージエッジ部に使用することでデバイスへの水分侵入を防ぐ「水分バリア型エッジシーラント材」、OLEDの封止などに使われる透明な「水分吸着フィラー材」 など、要求される水分吸着容量・スピード、デバイス形状やプロセス、柔軟性、透明性といった要求特性に応じて最適な製品を選定いただけます。

塗布型水分吸着材

高い大気暴露耐性を大きな特長とする、大容量の吸湿性能をもつ塗布型水分ゲッターです。熱硬化型、溶剤レスの基材を使用しており、硬化時に溶剤は発生しません。

パッケージ封止後の封止部界面などから透過しパッケージ内部に侵入してくる水分や、パッケージ内部に残留もしくは物理的に吸着している水分も効果的に吸着し、パッケージ内部を長期間に渡りドライに保つことができます。

基材及び吸着特性が異なる2シリーズをラインアップしております。

DryPasteシリーズ	主にOLEDなどの有機エレクトロニクス向けに開発された、塗布型水分吸着材。シロキサン系基材、吸着速度が速い。
eDryシリーズ	半導体、医療デバイス、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス等、様々なデバイス向けに開発された、塗布型水分吸着材。エポキシ系基材、熱硬化後の大気暴露性が高い。粘性と吸着容量、保管温度が異なる4種類をラインアップ。

用途例

• セミハーメチック（半気密封止）電子機器
• マイクロエレクトロニクスデバイス
• OLEDディスプレイ
• OLED照明システム
• 有機レーザー
• オプトエレクトロニクスデバイス
• 水晶発振器
• 埋め込み型医療機器
• 六フッ化硫黄サーキットブレーカー

水分バリア型エッジシーラント材

低い水蒸気透過率（WVTR）とゲッター機能を兼ね備えた、塗布型の接着材料です。パッケージエッジ部に使用することでデバイスへの水分侵入を防ぎ、デバイスの長期信頼性を保ちます。

塗布・硬化条件や用途によって、特長の異なる3シリーズをラインアップしております。

eGloo (MicroSeal)	大気中での塗布・硬化が可能。(塗布後は1時間以内の硬化を推奨)
ZeoGlue	ナノサイズのゲッター粒子により極小ギャップ(数10μm単位)のパッケージに対応可能。乾燥環境(<10ppmH2O)での塗布・硬化が必須。
FlexGloo (通常品&HCタイプ)	塗布・硬化後も優れた柔軟性を持つ。通常品と、大幅なバリア機能を向上したHC品の2タイプあり。ドライ環境での塗布・硬化を推奨。最大1時間以内であれば大気中での硬化が可能。

用途例

• セミハーメチック（半気密封止）電子機器
• マイクロエレクトロニクスデバイス
• OLEDディスプレイ
• OLED照明システム
• 有機ELおよびペロブスカイト系太陽光発電モジュール
• フレキシブルデバイス・折りたたみ式デバイス
• 電子ペーパーモジュール

水分吸着フィラー材

OLEDなどの有機系デバイス向けに開発された、パッケージ内部を充填して水分吸着を行うフィラー材です。フレキシブルデバイス向けの使用にも適しています。

Aqvadry® filler	硬化後、高透明かつ大容量の水分ゲッターとして機能を発揮。有機エレクトロニクスデバイスの長寿命化に貢献。
Aqvadry® Ink	アクティブマトリックス型OLED（ソリッド/フレキシブル）の薄膜カプセル化（TFE）向け。光学的に透明かつ平坦な層を形成し、乾燥材として機能。
Aqvadry® OCA	熱硬化またはUV硬化が可能で、光学的に透明な中粘度の塗布型乾燥材・接着剤。柔軟性があり、折り曲げ可能なデバイス向け。

用途例

• アクティブマトリックス型OLEDディスプレイ
• パッシブマトリックス型OLEDディスプレイ
• OLED照明システム
• 有機太陽電池デバイス
• 有機センサー
• 有機レーザー
• フレキシブル有機デバイス

水分+ガスゲッター

水分・水素・VOCガス吸着材

高周波デバイスやオプトエレクトロニクス向けに開発されたゲッター材で、水分だけでなく、水素や VOC（揮発性有機化合物）も同時に吸着できます。吸着対象ガスによって以下3製品をラインアップしております。

また、本シリーズは「リバーシブル（可逆的）」という特長を持っています。塗布・硬化後のゲッターは長期間保管が可能で、デバイスの封止直前に加熱（再活性化）することで、それまでに吸着したガスを放出し、水分やVOCの吸着容量をリフレッシュ（回復）させた状態で使用開始できます。その特徴を活かし、パッケージリッドへの塗布・硬化までをSAESグループで行った、ゲッター付きリッドのご提供も可能です。

ZeDry/H2	水分及び水素を吸着。 加熱により水分の吸着容量を回復可能。
ZeDry/VOC	水分及びVOCガス(揮発性有機化合物)を吸着。 加熱により水分とVOCガスの吸着容量を回復可能。
ZeDry/M	水分を吸着。 加熱により水分の吸着容量を回復可能。

納品形態

• ペースト状ZeDry：ペーストをシリンジに充填し提供。お客様にてペーストの塗布及び熱硬化プロセスが必要です。
• ZeDryリッド：パッケージリッドへの塗布及び熱硬化までをSAESグループにて行います。

用途例

• マイクロエレクトロニクスデバイス
• オプトエレクトロニクスデバイス
• オプティカルモジュール
• セミハーメチック（半気密封止）パッケージ
• ハーメチック（気密封止）パッケージ

水素ゲッター

金属小片タイプの水素ゲッターは、主に高速光トランシーバーやRFモジュールなど、GaAs（ガリウムヒ素）やInP（インジウムリン）ベースの半導体デバイスで使用されます。これらのデバイスは、パッケージ内部で発生する微量な水素によって特性が変動し、ノイズや信号減衰を引き起こす可能性があります。SAESの水素ゲッターは、こうした水素を選択的に吸着・固定化します。

液化ガスタンクなどに使用される大容量のパック状水素ゲッターもラインナップしております。

HCRH (High Capacity Rel-Hy)	金属小片タイプの水素ゲッター。マイクロエレクトロニクスのハーメチック(気密封止)パッケージに求められる、非常に厳しい要件に対応。
Lothar+	パック状の水素ゲッター。LNG、LN2、LH2、LOXなどの液化ガスの輸送・貯蔵に使用される超断熱容器およびパイプ向け。