薄膜加工技術のトーカイ　真空蒸着薄膜加工技術のパイオニア

トーカイ「薄膜加工技術」の特長

高性能な設備と、それを使いこなすことのできる技術力/調整力をもって、きめ細やかな対応でどんな困難なお客様のニーズにもお応えします。

高度薄膜生成技術力

昔と比べて技術はより高度なものが求められている中で、出来るだけ、お客様の求めているものづくりというのを目指し、日々技術向上に努めています。

光学特性を正確に発揮させるためには、薄膜の設計を基板上に正確に積層する必要があります。そのために、さまざまな基材や成膜物質の選択肢を用意しています。また、異なる波長に対応するために、可視領域だけでなく、紫外域から赤外域まで幅広い波長範囲に対応することが可能です。

充実の生産ライン

私たちは品質、技術、生産性の向上を重視し、最新の設備や技術を導入し、効率的な生産ラインを整えています。お客様の要望や状況に応じて、試作から製品開発、そして量産まで、トータルでサポート可能です。

例えば、蒸発源を個別に電子ビームで加熱蒸発させるエレクトロンビーム（EB）、波長シフトのない高密度で高密着な成膜が可能なイオンアシスト（IAD）、そして低温成膜による波長シフトのない高品質な光学薄膜を得ることができるスパッタリング（Sputtering）等の設備を活用することで、最先端の薄膜加工を提供しています。

徹底した品質管理

成膜加工後の品質や機能を確保するため、検査から各種測定等のノウハウを蓄積し、ISO9001に基づき、定めた基準にて品質管理を行っています。

これまで広いジャンルのお客様からオーダーをいただき、いつの時代にも高付加価値かつ競争力のある製品を送りだしてきました。その品質には多くの業界より高い評価をいただいており、多種多様な加工品目と幾多の納品実績はその証でもあります。

コーティング装置

真空蒸着装置を多数完備し、IAD/スパッタ装置を駆使した高精度/高付加価値なコーティングを可能にします。

クリーンルーム

コーティングルームはもちろんのこと、生産工程環境下においてクリーンルーム化を施工した生産体制を整えています。

測定 / 設備機器

高精度な測定器を取り揃えて、製品の測定や分析等を行い、品質と信頼性の向上に努めています。

3つの薄膜加工分野

トーカイは3つの加工分野において、製品の品質や機能に、お客さまが求める付加価値を提供し続けています。

真空成膜加工

高真空中で蒸着材料を加熱して気化、昇華させて、気体分子になった蒸着材料を基板に衝突・付着させて薄膜を形成します。

成膜速度が速く処理面積が大きいため、大量生産に向いており、自動車のライトをはじめとする機器類の反射鏡や、化粧品・メガネ・パチンコ台などの部品の装飾等に幅広く利用されています。

機能膜加工

撥水膜・親水膜・透明導電膜・シールド膜・加飾膜・金属膜等、機能性を持った薄膜を形成します。機能膜加工によって、製品の機能性を向上させることができるため、様々な分野で利用されています。

パターン成膜加工

フォトリソグラフィ技術と蒸着技術を併用し、光を照射してフォトレジストを露光し、現像することで、所望のパターンを形成します。

主に半導体製造プロセスにおいて、微細な回路パターンを形成するために利用されている技術です。

薄膜加工の事例紹介

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トーカイが提供する薄膜加工製品

株式会社トーカイが提供する薄膜加工製品は、公共および民生用途を問わず、さまざまな分野の機器に組み込まれています。例えば、ビデオカメラ、カメラ付き携帯電話、光通信装置など、日常的に使用されている物にも、最先端の薄膜技術が活用されています。

株式会社トーカイについて

株式会社トーカイは、成膜加工メーカーです。生産ロットや波長、対象基材を問わず、お客様のニーズに応じた薄膜製品の提案をいたします。

トーカイの特長

試作から量産まで

小ロットから大量生産まで対応いたします。

紫外域～赤外域まで

波長域250nmから15μmまで幅広い成膜に対応可能です。

様々な基材へ

硝子 / 樹脂 / 金属等の各種素材、小径から大型基盤まで対応可能です。

会社概要